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性能可用量程：大0-5000slpm；小0-0.5sccm/0-500sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）可重復性：0.2%滿量程標準質(zhì)量流量控制器響應時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）無需預熱時間工作條件兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體工作溫度：-10°C至+60°C大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145psig（160psia）耐受壓力：175psig（190psia）包裝清單MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）NIST可溯源校準證書艾里卡特操作說明書 大連流量控制器價格日本小島KOFLOC氣體流量控制器 3660-1/4-N2-10SLM-20℃-LP 小島KOFLOC針閥 2412-T-B-1/4-N2-0.5MPA-5ML/MIN .

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