激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納...
激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值,偏離我們的預(yù)估,以至于在高精度檢測時,對設(shè)備產(chǎn)生懷疑。因測量光學鏡組的安裝高度不在被測設(shè)備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動時存在俯仰、扭擺差,因此光學鏡組與運動軸偏置距離越遠,引起的阿貝誤差越大。環(huán)境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息,基于Edlen公式計算空氣折射率,以此對激光波長進行補償。激光干涉儀的應(yīng)用:數(shù)控機床動態(tài)性能檢測。山東激光干涉儀價格查詢
激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵,其光波可直接對米進行定義。可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;支持手動或自動進行環(huán)境補償。軟件強:友好的人機界面;豐富的應(yīng)用功能模塊;向?qū)降牟僮髁鞒?;簡潔化的記錄管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業(yè)專屬模板定制。天津激光干涉儀要多少錢激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。
激光干涉儀的維護:儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動時,應(yīng)托住底座,以防導軌變形。2、光學零件不用時,應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。使用時,各調(diào)整部位用力要適當,不要強旋、硬扳。導軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態(tài)。
激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:溫濕度、壓力傳感器誤差。
當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現(xiàn)平衡狀態(tài),通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時穩(wěn)定輸出后,激光器即可進行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率,標稱波長為633nm,長期波長穩(wěn)定性(真空中)優(yōu)于0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時,被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中,然后反射回分光鏡中,在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束④。激光干涉儀使用注意事項:儀器的光學零件在不用時,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發(fā)霉。東莞高精度激光干涉儀訂購
激光干涉儀是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段。山東激光干涉儀價格查詢
激光干涉儀;光的干涉:光具有波粒二象性。兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加,在某些區(qū)域始終加強,在另一些區(qū)域則始終削弱,形成穩(wěn)定的強弱分布的現(xiàn)象。產(chǎn)生穩(wěn)定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動方向一致的相干光源,才能產(chǎn)生光的穩(wěn)定干涉。由兩個普通獨特光源發(fā)出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產(chǎn)生穩(wěn)定干涉現(xiàn)象。若光的振幅相等:相位角相同時,復(fù)合光強為原先的2倍,產(chǎn)生明條紋。當相位角相差180o(半個波長)時,復(fù)合光強為0,產(chǎn)生暗條紋。山東激光干涉儀價格查詢
激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納...
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