激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達(dá)到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納...
在激光干涉儀引力波探測器中要盡可能地使用高激光功率,使用功率循環(huán)技術(shù)??梢杂行У刈龅竭@一點(diǎn),其基本的想法是把從干涉儀亮出來的光重新收集起來,再注入干涉儀中,進(jìn)行循環(huán)利用。因?yàn)榧す飧缮鎯x引力波探測器的工作點(diǎn)選擇在暗紋條件,如果干涉儀內(nèi)的光損耗很小,幾乎所有的入射光功率都會經(jīng)載頻出,這是極大的浪費(fèi)。在激光器和分光鏡之間放上一面鏡子,就能實(shí)現(xiàn)光能的回收。這面鏡子稱為功率循環(huán)鏡,它把這部分漏出的光與從激光器來的新鮮光混合,一起注入到干涉儀內(nèi),則干涉儀內(nèi)的有效功率將增加。激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關(guān)?江蘇數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀品牌
鏡組的靈活使用:激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。濟(jì)南數(shù)控軸直線度激光干涉儀訂購影響激光干涉儀測量精度的因素包括:在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。
當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發(fā),形成激光光束,通過放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài),通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi),此時穩(wěn)定輸出后,激光器即可進(jìn)行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率,標(biāo)稱波長為633nm,長期波長穩(wěn)定性(真空中)優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時,被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中,然后反射回分光鏡中,在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束④。
激光干涉儀初步調(diào)整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準(zhǔn)反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個過程,往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn),具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點(diǎn)。
激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用。安徽數(shù)控設(shè)備幾何精度激光干涉儀廠家
激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。江蘇數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀品牌
激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號,因而對于激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測量機(jī)等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。江蘇數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀品牌
激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn),對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達(dá)到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納...
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