激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺。其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測。品質(zhì)激光干涉儀誠信服務(wù)

激光干涉儀laserinterferometer以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量、回轉(zhuǎn)精度測量、平行度測量和小角度測量。天津大規(guī)模激光干涉儀激光干涉儀的應(yīng)用：幾何精度檢測。

干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn)的，初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺，后又用于在計(jì)量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高，可達(dá)1×10。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。

激光干涉儀作為數(shù)控機(jī)床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測量。其中線性測量功能通過機(jī)床運(yùn)行一段直線插補(bǔ)程序，能檢測線性坐標(biāo)軸的定位精度、重復(fù)定位精度，反向間隙等其線性測長精度可達(dá)到±0.5ppm(0~40℃)，線性測量長可以達(dá)到80m，較高線性測長分辨率0.001μm，較高測量速度240m/min。對于不同的數(shù)控機(jī)床，檢測的曲線各不相同，其完善的軟件功能通過對不同的曲線進(jìn)行分析，能夠?qū)⒂绊憴C(jī)床精度的原因列出來，數(shù)控機(jī)床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數(shù)據(jù)，了解到機(jī)床在哪些方面存在誤差，這樣就為調(diào)整和數(shù)控機(jī)床維修提供了充分的數(shù)據(jù)支持和指導(dǎo)，縮短數(shù)控機(jī)床維修時(shí)間，提高數(shù)控機(jī)床維修的效率。激光干涉儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量。

數(shù)控機(jī)床維修是一項(xiàng)集計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制、自動(dòng)檢測和電機(jī)拖動(dòng)等于一體的技術(shù)，需要數(shù)控機(jī)床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的數(shù)控機(jī)床維修經(jīng)驗(yàn)。因此，在日常數(shù)控機(jī)床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設(shè)備完好率，是數(shù)控機(jī)床維修人員的首要任務(wù)。當(dāng)出現(xiàn)機(jī)床精度異常、零件表面質(zhì)量變差等問題時(shí)，就需要借助一些先進(jìn)的精度檢測儀器。激光干涉儀作為數(shù)控機(jī)床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測量。激光干涉儀各個(gè)測量鏡組也可以在別的測量工作中使用。天津大規(guī)模激光干涉儀

用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測。品質(zhì)激光干涉儀誠信服務(wù)

激光干涉儀的使用方法：開機(jī)：接通電源打開電源開關(guān)，1分鐘后開始檢測。(因?yàn)閯傞_機(jī)激光器不穩(wěn)定)。光路調(diào)整：旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)對準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點(diǎn)，顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，(建議大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)重合，觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高。其干涉圖像與對準(zhǔn)系統(tǒng)同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸，可簡便的測量出曲率半徑。品質(zhì)激光干涉儀誠信服務(wù)

上海木幾精密機(jī)械有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場高度，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在上海市等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績讓我們喜悅，但不會(huì)讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無限潛力，上海木幾精密機(jī)械供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！