激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納...
激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應(yīng)用呢?可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能??梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準機床的回轉(zhuǎn)軸。內(nèi)置國內(nèi)外通用的標準??梢罁?jù)各種不同的機床標準分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。激光干涉儀使用注意事項:在移動儀器時,為防止導軌變形,應(yīng)托住底座再進行移動。山東數(shù)控軸平面度激光干涉儀
激光干涉儀的應(yīng)用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到蕞佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細節(jié),并給出按相關(guān)標準處理的統(tǒng)計結(jié)果。山東數(shù)控軸平面度激光干涉儀影響激光干涉儀測量精度的因素包括:溫濕度、壓力傳感器誤差。
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。
激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具,能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序,能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度,反向間隙等其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃),線性測量長可以達到80m,較高線性測長分辨率0.001μm,較高測量速度240m/min。對于不同的數(shù)控機床,檢測的曲線各不相同,其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析,能夠?qū)⒂绊憴C床精度的原因列出來,數(shù)控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數(shù)據(jù),了解到機床在哪些方面存在誤差,這樣就為調(diào)整和數(shù)控機床維修提供了充分的數(shù)據(jù)支持和指導,縮短數(shù)控機床維修時間,提高數(shù)控機床維修的效率。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。
激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調(diào)整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀要設(shè)置專庫存放,環(huán)境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。鄭州英國雷尼紹XL-80激光干涉儀品牌
激光干涉儀使用注意事項:必要時要使用精密儀表油潤滑。山東數(shù)控軸平面度激光干涉儀
激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測??捎糜跈z測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),使機床達到比較佳精度,另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。山東數(shù)控軸平面度激光干涉儀
激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達到光的放大,即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納...
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