激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等，實(shí)際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí)，激光干涉儀各個(gè)測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器，達(dá)到改變光路，方便測量的目的。這需要，了解設(shè)備性能、掌握測量技巧，在滿足測量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。激光干涉儀要設(shè)置專庫存放。深圳數(shù)控機(jī)床激光干涉儀廠家

激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。功能廣；可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量；可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。河北數(shù)控設(shè)備定位精度激光干涉儀設(shè)備廠家激光干涉儀可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。

激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時(shí)，激光干涉儀會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時(shí)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時(shí)，混合氣體被激發(fā)，形成激光光束，通過放大激光光強(qiáng)使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實(shí)現(xiàn)平衡狀態(tài)，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi)，此時(shí)穩(wěn)定輸出后，激光器即可進(jìn)行干涉測量。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光，具有強(qiáng)度較高、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用?？蓽y量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器。同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角。可選的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。若光程差沒有變化時(shí)，探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。

近幾年，隨著光學(xué)產(chǎn)品的快速發(fā)展，從航天等高科技產(chǎn)品到數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)等大眾消費(fèi)產(chǎn)品，無不與光學(xué)息息相關(guān)，推動(dòng)了光學(xué)研究和光學(xué)加工的快速發(fā)展，同時(shí)也光學(xué)檢測手段提出了更高的要求，也正因?yàn)槿绱?，激光干涉儀成為眾多光學(xué)冷加工廠商的夢想與追求，擁有一臺激光干涉儀，就擁有世界的檢測手段，就擁有令人信服的檢測結(jié)果，就能證明可以生產(chǎn)的產(chǎn)品。激光干涉儀的使用方法：1、開機(jī)：接通電源打開電源開關(guān)，1分鐘后開始檢測。（因?yàn)閯傞_機(jī)激光器不穩(wěn)定）2、光路調(diào)整：旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)對準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點(diǎn)，顯示器上顯示完整的圓形圖像。激光干涉儀具有較高的精度和效率。深圳數(shù)控機(jī)床激光干涉儀廠家

用激光干涉儀對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測。深圳數(shù)控機(jī)床激光干涉儀廠家

激光干涉儀的應(yīng)用：幾何精度檢測。可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動(dòng)測量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動(dòng)對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可比較大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到比較佳精度，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。深圳數(shù)控機(jī)床激光干涉儀廠家