激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據并輸出誤差曲線，為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據，現(xiàn)場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測。南京精密儀器校準激光干涉儀廠家

干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現(xiàn)的，初用于檢定基準線紋尺，后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(tài)(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應用結果表明，節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。南京精密儀器校準激光干涉儀廠家激光干涉儀的注意事項：儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。

激光干涉儀：誤差影響精確度：大氣折射率。激光頻率穩(wěn)定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準，激光頻率變化直接影響測量結果。余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差：在零位時，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差：在干涉條紋一個周期內由插細分不均勻引起的誤差。

激光干涉儀引力波探測器對光學鏡的要求：(1)體積和重量；激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發(fā)散,光斑變大。為了避免邊緣效應光學鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質量一般為20kg左右。(2)熱傳導及熱噪聲；當激光干涉儀引力波探測器運行時,臂上法布里-珀羅腔內的激光功率非常強,例如高級LIGO達到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內部不能有結構上的缺陷。為減小由于局部發(fā)熱而產生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的工具。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光干涉儀的光源——激光，具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用?？蓽y量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性。設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器。同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角?？蛇x的無線遙控傳感器比較長的控制距離可到25米。激光干涉儀的使用注意事項：各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。上海小型激光干涉儀

激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。南京精密儀器校準激光干涉儀廠家

激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數(shù)控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號，因而對于激光干涉儀來說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。南京精密儀器校準激光干涉儀廠家