影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括:①激光器頻率(波長(zhǎng))及頻率穩(wěn)定性;②測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來(lái)的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當(dāng)然,在具體測(cè)量任務(wù)中的測(cè)量精度還與測(cè)量人員、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。激光干涉儀在實(shí)際使用中,需要確認(rèn)其在各個(gè)測(cè)量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平以確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測(cè)量讀數(shù)Z終均與激光波長(zhǎng)有關(guān),因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測(cè)量精度的保障。此外,激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對(duì)Z終的測(cè)量精度有著重要的影響。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。深圳科研開(kāi)發(fā)激光干涉儀哪個(gè)牌子好

激光干涉儀作為數(shù)控機(jī)床精度常用的檢測(cè)工具,能對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行線(xiàn)性測(cè)量、直線(xiàn)度測(cè)量、平面度測(cè)量、角度測(cè)量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測(cè)量。其中線(xiàn)性測(cè)量功能通過(guò)機(jī)床運(yùn)行一段直線(xiàn)插補(bǔ)程序,能檢測(cè)線(xiàn)性坐標(biāo)軸的定位精度、重復(fù)定位精度,反向間隙等。以我司生產(chǎn)的型號(hào)XL-80激光干涉儀為例,其線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)精度可達(dá)到±0.5ppm(0~40℃),線(xiàn)性測(cè)量比較長(zhǎng)可以達(dá)到80m,比較高線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)分辨率0.001μm,比較高測(cè)量速度240m/min。激光干涉儀以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、Zgao測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長(zhǎng)可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開(kāi)發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。廣州數(shù)控軸平行度激光干涉儀激光干涉儀在實(shí)際使用中,需要確認(rèn)其在各個(gè)測(cè)量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平以確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。

激光干涉儀以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、比較高測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長(zhǎng)可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開(kāi)發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的配合下,激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析。
激光干涉儀使用環(huán)境:因?yàn)楣鈱W(xué)玻璃受熱變形將產(chǎn)生光學(xué)表面光圈的變化,溫度不穩(wěn)定將直接影響測(cè)量精度的可靠性,所以激光干涉儀的使用對(duì)環(huán)境也有一定的要求:1、溫度要求在20℃左右,濕度不大于60%。2、遠(yuǎn)離振動(dòng)源,以免條紋產(chǎn)生抖動(dòng)影響測(cè)量精度的判斷。目前激光干涉儀已普遍地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)、光學(xué)檢測(cè)機(jī)構(gòu)以及其他需要進(jìn)行光學(xué)表面檢測(cè)的場(chǎng)合,南京光研推出的一款激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動(dòng)靈活的特點(diǎn),用12v電源,其耗電量極低,干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步、不需要切換,任何人都能簡(jiǎn)單操作,非常適合大批量快速檢測(cè)。激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快。

激光干涉儀的使用方法:開(kāi)機(jī):接通電源打開(kāi)電源開(kāi)關(guān),1分鐘后開(kāi)始檢測(cè)。(因?yàn)閯傞_(kāi)機(jī)激光器不穩(wěn)定)。光路調(diào)整:旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點(diǎn),顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測(cè):調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測(cè),自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)重合,觀(guān)測(cè)顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋,條紋越少精度越高。其干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步,無(wú)需切換,任何人都能簡(jiǎn)單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長(zhǎng)的測(cè)試軌道來(lái)配合測(cè)量尺寸,可簡(jiǎn)便的測(cè)量出曲率半徑。激光干涉儀可以進(jìn)導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。雷尼紹XL-80激光干涉儀設(shè)計(jì)
激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對(duì)的測(cè)量精度有著重要的影響。深圳科研開(kāi)發(fā)激光干涉儀哪個(gè)牌子好
激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量測(cè)試方法,是公認(rèn)的高精度、高靈敏度的檢測(cè)手段,在制造領(lǐng)域應(yīng)用普遍。激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè),可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。深圳科研開(kāi)發(fā)激光干涉儀哪個(gè)牌子好