激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。其中，線(xiàn)性鏡組為標(biāo)配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡。激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度進(jìn)行測(cè)量。杭州數(shù)控軸垂直度激光干涉儀銷(xiāo)售

激光干涉儀初步調(diào)整后，它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過(guò)“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀(guān)察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時(shí)透過(guò)“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶，若在此過(guò)程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸，繼續(xù)調(diào)整“尾部”，觀(guān)察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個(gè)過(guò)程，往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長(zhǎng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)。

激光干涉儀輔助工具的選擇：雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實(shí)際使用過(guò)程中還是需要另外配置一些輔助工具：①研制低高度云臺(tái)支架；部分機(jī)床工作臺(tái)高度與地面是基本相平的，那么測(cè)量Z軸時(shí)，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺(tái)安放激光器于地面，則肯定會(huì)因?yàn)槿羌鼙旧淼母叨?，損失測(cè)量范圍。②選擇磁性表座；磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時(shí)需要注意，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(gè)(實(shí)驗(yàn)室或工廠(chǎng)多采用的是主磁性吸面位于底面的表座)，在測(cè)量時(shí)，往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。

激光干涉儀具有有線(xiàn)性測(cè)量鏡組、角度測(cè)量鏡組、平面度測(cè)量組件、直線(xiàn)度測(cè)量組件、垂直度測(cè)量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等，實(shí)際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿(mǎn)足測(cè)量需要。比如角度測(cè)量鏡組中的反射鏡也可以替換線(xiàn)性測(cè)量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí)，激光干涉儀各個(gè)測(cè)量鏡組也可以在別的測(cè)量工作中使用，常見(jiàn)的利用分光鏡或者光學(xué)直角器，達(dá)到改變光路，方便測(cè)量的目的。這需要，了解設(shè)備性能、掌握測(cè)量技巧，在滿(mǎn)足測(cè)量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。激光干涉儀通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度的測(cè)量。

激光干涉儀使用注意事項(xiàng)：1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動(dòng)儀器時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤(rùn)滑。6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具。自動(dòng)化激光干涉儀品質(zhì)保障

激光干涉儀可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。杭州數(shù)控軸垂直度激光干涉儀銷(xiāo)售

激光干涉儀laserinterferometer以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線(xiàn)性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線(xiàn)度測(cè)量、平面度測(cè)量、回轉(zhuǎn)精度測(cè)量、平行度測(cè)量和小角度測(cè)量。杭州數(shù)控軸垂直度激光干涉儀銷(xiāo)售