激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量?！案缮娣ā笔且环N利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點,結合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。激光干涉儀的使用注意事項：儀器應保持干燥。安徽進囗激光干涉儀

激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發(fā)展趨勢，其特點是測量精度快、反應速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設計一個精密導軌，將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測，從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對定位移進行測試對比，得出往復測試實驗結果。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外，如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。廣東機床精度激光干涉儀定購影響激光干涉儀測量精度的因素包括：反射鏡、角錐棱角誤差。

激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃)，線性測量長可以達到80m，較高線性測長分辨率0.001μm，較高測量速度240m/min。對于不同的數(shù)控機床，檢測的曲線各不相同，其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析，能夠將影響機床精度的原因列出來，數(shù)控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數(shù)據(jù)，了解到機床在哪些方面存在誤差，這樣就為調整和數(shù)控機床維修提供了充分的數(shù)據(jù)支持和指導，縮短數(shù)控機床維修時間，提高數(shù)控機床維修的效率。

激光干涉儀的測試質量是由鏡子本身和反沖質量組成的復合體。這個復合體是將鏡子的一部分嵌在一個與其質量相等的反沖質量體內做成的。鏡子和反沖質量兩者的縱軸要重合,鏡體的背面分布著四個永磁體做成的針,而相應的線圈固定在反沖質量體與其相對的面上。針伸入對應的線圈內,組成磁鐵-線圈驅動器。這四組磁鐵-線圈驅動器用來調整和控制鏡體的方向和位置。在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質量的狀態(tài)進行實時控制,使干涉儀穩(wěn)定地保持鎖定狀態(tài)。激光干涉儀可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線。

近幾年，隨著光學產品的快速發(fā)展，從航天等高科技產品到數(shù)碼相機、手機等大眾消費產品，無不與光學息息相關，推動了光學研究和光學加工的快速發(fā)展，同時也光學檢測手段提出了更高的要求，也正因為如此，激光干涉儀成為眾多光學冷加工廠商的夢想與追求，擁有一臺激光干涉儀，就擁有世界的檢測手段，就擁有令人信服的檢測結果，就能證明可以生產的產品。激光干涉儀的使用方法：1、開機：接通電源打開電源開關，1分鐘后開始檢測。（因為剛開機激光器不穩(wěn)定）2、光路調整：旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點，顯示器上顯示完整的圓形圖像。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測。河北激光干涉儀定制

激光干涉儀要小心輕放，避免強烈的沖擊震動。安徽進囗激光干涉儀

激光干涉儀引力波探測器對光學鏡的要求：(1)體積和重量；激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發(fā)散,光斑變大。為了避免邊緣效應光學鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質量一般為20kg左右。(2)熱傳導及熱噪聲；當激光干涉儀引力波探測器運行時,臂上法布里-珀羅腔內的激光功率非常強,例如高級LIGO達到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內部不能有結構上的缺陷。為減小由于局部發(fā)熱而產生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。安徽進囗激光干涉儀