分子泵軸承的有限元分析應(yīng)用:新巴頓通過 ANSYS 軟件對軸承進(jìn)行多物理場耦合分析,模擬高速旋轉(zhuǎn)時(shí)的溫度場、應(yīng)力場與變形場。當(dāng)轉(zhuǎn)速為 12 萬轉(zhuǎn) / 分鐘時(shí),分析顯示陶瓷球與套圈的接觸區(qū)域溫度可達(dá) 80℃,據(jù)此優(yōu)化滾道溝曲率半徑至 1.05 倍球徑,使接觸面積增加 15%,散熱效率提升 20%。模擬結(jié)果與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)對比顯示,溫度預(yù)測誤差≤5℃,為軸承的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供精確依據(jù)。某分子泵制造商采用該分析后,軸承的熱變形量從 0.03mm 降至 0.01mm,滿足了精密真空系統(tǒng)的要求。長壽命設(shè)計(jì)的新巴頓分子泵軸承,減少停機(jī),提升生產(chǎn)效率。崇明區(qū)VAC6001AB017分子泵軸承
針對分子泵高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的復(fù)雜載荷,新巴頓在軸承結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上進(jìn)行深度優(yōu)化。角接觸球軸承采用 28° 接觸角的定制化設(shè)計(jì),相較于常規(guī) 15° 接觸角產(chǎn)品,軸向承載能力提升了 60%,能更好地應(yīng)對 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的陀螺力矩。通過有限元分析模擬,精確控制軸承的軸向游隙在 8μm 左右,在 - 20℃至 120℃的溫度區(qū)間內(nèi),可自動(dòng)補(bǔ)償因熱脹冷縮產(chǎn)生的形變,確保轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)誤差控制在 ±3μm 以內(nèi)。某科研機(jī)構(gòu)的分子泵設(shè)備應(yīng)用該設(shè)計(jì)后,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性大幅提升,振動(dòng)值從原來的 12m/s2 降至 4m/s2,達(dá)到 ISO 10816-1 標(biāo)準(zhǔn) Class 1 的嚴(yán)苛要求,為精密實(shí)驗(yàn)提供了可靠保障。巴頓YCA1750SSW85分子泵軸承代理商巴頓分子泵軸承:高性能分子泵軸承,助力半導(dǎo)體生產(chǎn)。
分子泵軸承需符合多領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)要求。在半導(dǎo)體行業(yè),需通過 SEMI S2/S8 認(rèn)證,確保材料不釋放有害氣體,新巴頓的軸承經(jīng)第三方檢測,其總揮發(fā)性有機(jī)物(TVOC)<50ppb;醫(yī)療 CT 設(shè)備用軸承則需符合 ISO 13485 標(biāo)準(zhǔn),公司采用的電解拋光工藝使套圈表面粗糙度 Ra≤0.05μm,滿足滅菌要求。對于航空航天領(lǐng)域,軸承需通過 MIL-PRF-32369 認(rèn)證,其低 outgassing 特性(水汽釋放率<1×10??Pa?m3/s)由氦質(zhì)譜檢漏儀嚴(yán)格檢測。目前,公司產(chǎn)品已獲得 ISO 9001:2015 認(rèn)證,并通過多家國際設(shè)備廠商的工廠審核(如應(yīng)用材料、Lam Research)。
密封設(shè)計(jì)優(yōu)勢:多重防護(hù)抵御復(fù)雜環(huán)境,針對真空鍍膜等行業(yè)中金屬蒸汽侵蝕的難題,新巴頓設(shè)計(jì)了多重密封結(jié)構(gòu)。軸承采用多道曲徑迷宮密封與氟橡膠雙唇口密封相結(jié)合的方式,外唇口以 0.12mm 的過盈量設(shè)計(jì),在 10??Pa 的真空度下,漏氣率低至 1×10?11Pa?m3/s ;內(nèi)唇口配合擋油環(huán),可有效阻擋 98% 的潤滑脂泄漏,同時(shí)將金屬蒸汽的侵入量減少 92% 。在某鋁蒸鍍設(shè)備的實(shí)際應(yīng)用中,使用該密封結(jié)構(gòu)的軸承更換周期從 1.5 個(gè)月延長至 10 個(gè)月,蒸鍍產(chǎn)品的良品率從 88% 提升至 97%,大幅提升了生產(chǎn)效益和產(chǎn)品質(zhì)量。巴頓分子泵軸承:高剛度設(shè)計(jì),提高系統(tǒng)穩(wěn)定性。
CT 機(jī)用分子泵軸承的防輻射設(shè):計(jì)醫(yī)療 CT 設(shè)備中的分子泵軸承需耐受 X 射線輻射(劑量率≤10mGy/h),新巴頓選用 316L 不銹鋼(含碳量≤0.03%)制造套圈,其 γ 射線吸收系數(shù)為 0.06cm?1,可有效減少輻射損傷。保持架采用輻射穩(wěn)定型 PEEK 材料(添加 5% 碳纖維),在 10?Gy 輻射劑量下仍保持力學(xué)性能穩(wěn)定。潤滑方面使用硅基潤滑脂(輻射分解率<1%),某 CT 設(shè)備采用該軸承后,經(jīng)過 5 年連續(xù)運(yùn)行(累計(jì)輻射劑量 5×103Gy),軸承性能未見明顯衰減,滿足醫(yī)療設(shè)備的長壽命要求。巴頓分子泵軸承:提高生產(chǎn)效率,降低運(yùn)營成本。崇明區(qū)巴頓C1906X205Y13分子泵軸承
巴頓分子泵軸承——科研探索的精密之選 。崇明區(qū)VAC6001AB017分子泵軸承
新巴頓分子泵軸承采用先進(jìn)的復(fù)合材質(zhì)體系,主要部件陶瓷球選用氧化鋯(ZrO?)材料,其硬度高達(dá) HRA85,抗彎強(qiáng)度達(dá)到 230GPa,相比傳統(tǒng)軸承鋼材質(zhì),耐磨性提升了 3 倍以上。不銹鋼套圈采用真空除氣處理的 AISI 440C 不銹鋼,在 10??Pa 的超高真空環(huán)境下,水汽釋放率只為 5×10??Pa?m3/s,極大降低了出氣對真空系統(tǒng)的影響。某半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備在采用新巴頓陶瓷軸承后,運(yùn)行壽命從原本的 8 個(gè)月延長至 28 個(gè)月,設(shè)備因軸承故障導(dǎo)致的停機(jī)時(shí)間減少了 75%,明顯提升了生產(chǎn)效率,同時(shí)因材料出氣率低,芯片的良品率提高了 4% ,有效降低了生產(chǎn)成本。崇明區(qū)VAC6001AB017分子泵軸承