隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測試、分析。探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng),移動(dòng)范圍12mm,移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測點(diǎn)上(說明探針是耗材,一般客戶自己準(zhǔn)備),探針探測到的信號(hào)可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機(jī)上,從而得到電性能的參數(shù)。對(duì)于重復(fù)測試同種器件,多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測試。探針尖如果氧化,接觸電阻變大。吉林芯片測試探針臺(tái)公司
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺(tái)是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測,探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。湖北自動(dòng)探針臺(tái)哪里有探針卡沒焊到位,是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū)。
針尖有鋁粉:測大電流時(shí),針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩(wěn),所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮?dú)獯蹈?,同時(shí)測試時(shí)邊測邊吹氮?dú)?,以減少針尖上的AL粉。針尖有墨跡:測試時(shí)打點(diǎn)器沒有調(diào)整好,尼龍絲碰到針尖上,針尖上沾上墨跡,然后針尖與壓點(diǎn)接觸時(shí),壓點(diǎn)窗口上墨跡沾污,使片子與AL層接觸不良,參數(shù)通不過,還有對(duì)后續(xù)封裝壓焊有影響,使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,所以平時(shí)裝打點(diǎn)器時(shí),不要把打點(diǎn)器裝得太前或太后和太高或太低,而應(yīng)該使尼龍絲與硅片留有一定距離,然后靠表面漲力使墨水打到管芯中心,如已經(jīng)沾上墨跡,要立即用酒精擦干凈,并用氮?dú)獯蹈伞?/p>
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺(tái)是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測,探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司系統(tǒng)在測試每個(gè)芯片的時(shí)候?qū)π酒暮脡呐c否進(jìn)行判斷,發(fā)出合格與不合格的信號(hào)。
“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個(gè)層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺(tái)系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動(dòng)晶圓托盤,并在晶圓移動(dòng)的過程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對(duì)位;其次,必須具備動(dòng)態(tài)監(jiān)控機(jī)制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對(duì)高產(chǎn)出的進(jìn)階移動(dòng)做動(dòng)態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強(qiáng)化更小晶粒定位的精確性,需要?jiǎng)討B(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無謂的產(chǎn)出損失。無論是全自動(dòng)探針測試臺(tái)還是自動(dòng)探針測試臺(tái),工作臺(tái)都是其主要的部分。湖北自動(dòng)探針臺(tái)哪里有
上海勤確科技有限公司追求客戶的數(shù)量遠(yuǎn)不是我們的目的。吉林芯片測試探針臺(tái)公司
自動(dòng)化探針臺(tái)搭配測試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測試,根據(jù)測試結(jié)果評(píng)定上一道工序的工藝質(zhì)量,并指導(dǎo)下一道工序。從全球市場看,半導(dǎo)體探針臺(tái)設(shè)備行業(yè)集中度較高,目前主要由國外廠商主導(dǎo),行業(yè)呈現(xiàn)較高壟斷的競爭格局。鑒于自動(dòng)化探針臺(tái)是光、機(jī)、電高度一體化的產(chǎn)品,國內(nèi)在這一方向研究幾乎為零,市場主要被一些國外的大公司壟斷。2017年投產(chǎn)X系列半自動(dòng)探針臺(tái)并成功推向市場,成功填補(bǔ)國內(nèi)該研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的空白。吉林芯片測試探針臺(tái)公司