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探針臺基本參數(shù)
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探針臺企業(yè)商機

探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精確扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導(dǎo)通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。山西溫控探針臺服務(wù)

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探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待。山西溫控探針臺服務(wù)上海勤確科技有限公司服務(wù)至上,堅持優(yōu)異服務(wù)、多年來,堅持科學(xué)管理規(guī)范、完善服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)。

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探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現(xiàn)被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。

x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。通常探針是由鎢制成的,它如果長期不用,針尖要形起氧化。

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x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。探針卡虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩(wěn)。山西溫控探針臺服務(wù)

盡管隨著探針壓力的增強,接觸電阻逐漸降低,終它會達(dá)到兩金屬的標(biāo)稱接觸電阻值。山西溫控探針臺服務(wù)

探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時,提供前所未有的自動化水平。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知,學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進(jìn)入汽車應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境,在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來越重要。以前,大多數(shù)芯片在兩個溫度點進(jìn)行晶圓級測試,通常為20?C(室溫)和90?C。現(xiàn)在,該范圍已經(jīng)擴大到-40?C至125?C,并且可能需要在此范圍內(nèi)的四個溫度步驟中進(jìn)行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍,如-55?C至200?C,晶圓可靠性測試可能要求高達(dá)300?C的溫度。山西溫控探針臺服務(wù)

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