探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時，提供前所未有的自動化水平。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知，學習和反應以多溫度和特征的極其復雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進入汽車應用等更高發(fā)熱量的環(huán)境，在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來越重要。以前，大多數(shù)芯片在兩個溫度點進行晶圓級測試，通常為20?C（室溫）和90?C?，F(xiàn)在，該范圍已經(jīng)擴大到-40?C至125?C，并且可能需要在此范圍內(nèi)的四個溫度步驟中進行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍，如-55?C至200?C，晶圓可靠性測試可能要求高達300?C的溫度。在實際的芯測試中探針卡的狀態(tài)是非常重要的。上海溫控探針臺生產(chǎn)
探針臺是半導體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一，其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)，負責晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中，從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復雜的工序，可分為前道工序與后道工序，探針臺是檢測半導體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測，探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進入后序工序前予以剔除，降低器件的制造成本。上海溫控探針臺生產(chǎn)探針臺是半導體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一。
“精確度”是探測儀器基本的指針，涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先，必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片，載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤，并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位；其次，必須具備動態(tài)監(jiān)控機制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性；后，必須對高產(chǎn)出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言，針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮，為了強化更小晶粒定位的精確性，需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作，以避免無謂的產(chǎn)出損失。
探針臺市場逐年增長：半導體測試對于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要，是必不可少的環(huán)節(jié)，主要涉及兩種測試（CP測試、FT測試等）、三種設(shè)備（探針臺、測試機、分選機等）。根據(jù)半導體產(chǎn)線投資配置規(guī)律，測試設(shè)備在半導體設(shè)備投資的占比約為8%，次于晶圓制造裝備，其中測試機、分選機、探針臺的占比分別為63.10%、17.40%、15.20%。中國半導體市場飛速增長。在全球貿(mào)易摩擦背景下，半導體行業(yè)國產(chǎn)化率提高成為必然趨勢，國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的投資規(guī)模持續(xù)擴大。無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，工作臺都是其主要的部分。
探針臺的作用是什么？探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應用。一般，信號路徑電阻被用來替代接觸電阻，而且它在眾多情況下更加相關(guān)。上海溫控探針臺生產(chǎn)
圓片移動到下一個芯片的位置，這種方法可以讓圓片上的每一個芯片都經(jīng)過測試。上海溫控探針臺生產(chǎn)
晶圓測試基本的一點就是：晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞，并使合格芯片繼續(xù)進入下面的封裝工藝。為了確保芯片功能和成品率的有效測試，封裝廠商和設(shè)備制造者需要不斷探索，進而找到高精度、高效率和低成本的測試方法，并運用新的組裝工藝要求對晶圓片進行探測，這些要求將引起設(shè)備和工藝過程的重大變化。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動，從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺（低溫探針臺），RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。上海溫控探針臺生產(chǎn)
