磁場探針臺主要用于半導體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學特性測試,能夠提供磁場或變溫環(huán)境,并進行高精度的直流/射頻測量。我們生產(chǎn)各類磁場探針臺,穩(wěn)定性強、功能多樣、可升級擴展,適用于各大高校、研究所及半導體行業(yè)的實驗研究和生產(chǎn)。詳細參數(shù):二維磁場探針臺,包含兩組磁鐵,可同時提供垂直與面內(nèi)磁場;面內(nèi)磁鐵極頭間距可根據(jù)樣品尺寸調(diào)整以獲得大的磁場,兼容性強;大兼容7組探針(4組RF,3組DC同時測試使用);Y軸提供大行程位移裝置,在不移動探針情況下快速抽拉更換樣品;配備樣品臺傾斜微調(diào)旋鈕,確保樣品平面平行于面內(nèi)磁場方向;至多支持7組探針同時放置:直流探針(3組)+微波探針(4組);XY軸位移行程±12.5mm,T軸旋轉(zhuǎn)±5°;面內(nèi)磁場單獨施加時,磁場垂直分量優(yōu)于0.025%。負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。山西全自動探針臺機構(gòu)
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當?shù)奈恢?,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。當一個管芯(或管芯陣列)經(jīng)過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可以開始了。晶圓探針臺通常負責從載具(或盒子)裝載和卸載晶圓,并配備自動模式識別光學器件,能夠以足夠的精度對準晶圓,以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準確對準。山西全自動探針臺機構(gòu)上海勤確科技有限公司一切從實際出發(fā)、注重實質(zhì)內(nèi)容。
探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應用。
射頻測試探針必須具有與測試點相匹配的阻抗。通常要做的是在設計中各個預先計劃好的測試點焊接射頻同軸電纜(尾纖)。這有助于確保足夠的阻抗匹配,并且測試點可以選在對整體設計性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設計上,從而減少侵入性探測。高性能測試設備供應商可以提供高達毫米波頻率的用探針。但這些探針的末端通常都很昂貴,且無法持續(xù)訪問組成元件的電路。因此,它們在大容量的測試應用或者故障排除應用中受到限制,更適合于原型設計和研發(fā)。探針尖磨損和污染也會對測試結(jié)果造成極大的負面影響。
探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設備。經(jīng)過檢測,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子,以免造成定子及動子的損傷。遼寧自動探針臺供應商
晶圓級半自動面內(nèi)磁場探針臺詳細參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場探針臺,通用性設計;容納12寸晶圓。山西全自動探針臺機構(gòu)
手動探針臺應用領(lǐng)域:Failureanalysis集成電路失效分析;Waferlevelreliability晶元可靠性認證;Devicecharacterization元器件特性量測;Processmodeling塑性過程測試(材料特性分析);ICProcessmonitoring制成監(jiān)控;PackagepartprobingIC封裝階段打線品質(zhì)測試;Flatpanelprobing液晶面板的特性測試;PCboardprobingPC主板的電性測試;ESD&TDRtestingESD和TDR測試;Microwaveprobing微波量測(高頻);Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析;LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析。山西全自動探針臺機構(gòu)