將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合,鍵合時(shí)間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光;s103:通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,來對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄??蛇x地,本發(fā)明實(shí)施例中,s102和s103可以交替進(jìn)行,也就是說,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后,控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn),并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中,通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作,實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個(gè)過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復(fù)度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達(dá)到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。去除涂層,減薄用清洗劑是您的得力助手。南通性價(jià)比高的減薄用清洗劑價(jià)格
實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時(shí),控制玻璃的擺動(dòng)幅度,提高玻璃在減薄過程中的安全性。實(shí)施例六所述主厚度測(cè)量儀32與所述蝕刻區(qū)3的內(nèi)壁相鄰,并且具有滑動(dòng)結(jié)構(gòu)以移動(dòng)到豎直容納在所述玻璃加工治具4內(nèi)的玻璃之中的靠外玻璃附近,從而便于對(duì)玻璃厚度進(jìn)行檢測(cè);具體的,在所述控制器的控制下,所述主厚度測(cè)量儀32通過向玻璃發(fā)射激光束來實(shí)時(shí)測(cè)量玻璃厚度并且在玻璃正經(jīng)歷滑動(dòng)處理的同時(shí)將關(guān)于測(cè)得厚度的信息發(fā)送到所述控制器;所述控制器實(shí)時(shí)將預(yù)設(shè)的目標(biāo)厚度與從所述主厚度測(cè)量儀32接收的測(cè)得玻璃厚度進(jìn)行比較。如果確定從所述主厚度測(cè)量儀32接收的測(cè)得玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度,則所述控制器停止減薄處理等操作,并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。較佳的,所述主厚度測(cè)量儀32可包括:發(fā)射器,其用于發(fā)射激光束;接收器,其用于接收被玻璃反射的光束;以及分析器,其用于分析接收器中接收的光束并且計(jì)算玻璃厚度。所述主厚度測(cè)量儀32還可包括空氣噴射器,用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發(fā)射器發(fā)射的激光束的那部分。在通過發(fā)射器發(fā)射激光束之前,所述主厚度測(cè)量儀32控制所述空氣噴射器。江蘇清洗效果好的減薄用清洗劑推薦廠家蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好?
本發(fā)明涉及玻璃減薄技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種玻璃減薄設(shè)備。背景技術(shù):隨著便攜式電子器件的發(fā)展,手機(jī)、平板等便攜式電子器件越來越纖細(xì)化及薄型化,因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設(shè)備的反應(yīng)槽中,然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時(shí)間,使玻璃減薄液與玻璃反應(yīng),實(shí)現(xiàn)玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中,反應(yīng)產(chǎn)物會(huì)懸浮于玻璃減薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,這種方法容易造成蝕刻不均,導(dǎo)致進(jìn)行減薄后還需要進(jìn)行拋光處理,提高了制備成本。鑒于上述缺陷,本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過長時(shí)間的研究和實(shí)踐終于獲得了本發(fā)明。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:為解決上述技術(shù)缺陷,本發(fā)明采用的技術(shù)方案在于,提供一種玻璃減薄設(shè)備,包括蝕刻區(qū),用于對(duì)豎直容納在玻璃加工治具中的多個(gè)玻璃進(jìn)行減薄處理;沖洗區(qū),用于所述玻璃加工治具上的玻璃進(jìn)行減薄前清潔和減薄后清潔;轉(zhuǎn)換區(qū),用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區(qū)中,并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區(qū)卸載到外部;制動(dòng)組件。
所述控制器進(jìn)行第二次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過設(shè)置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測(cè)量儀進(jìn)行厚度檢測(cè),從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí),所述玻璃加工治具4可再次進(jìn)入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進(jìn)行減薄處理。所述主厚度測(cè)量儀32設(shè)置在其中對(duì)玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實(shí)時(shí)測(cè)量玻璃厚度,使得玻璃可更準(zhǔn)確地具有目標(biāo)厚度;所述輔助厚度測(cè)量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中,并且再次測(cè)量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測(cè)量儀32是否無法正確工作,并且使減薄玻璃的缺陷率降至;且所述輔助厚度測(cè)量儀可提前測(cè)量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度,因此可以檢查設(shè)置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測(cè)量儀32是否無法正確工作;所述第二輔助厚度測(cè)量儀設(shè)置在所述第三沖洗區(qū)2,從而在減薄后清洗終完成后,再次進(jìn)行厚度檢測(cè),從而檢測(cè)預(yù)從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運(yùn)出的玻璃是否符合標(biāo)準(zhǔn),并進(jìn)一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明而言是說明性的,而非限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解,在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對(duì)其進(jìn)行許多改變,修改,甚至等效,但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。減薄清洗劑,專業(yè)解決涂層過厚難題,提高產(chǎn)品良率。
可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時(shí),值得指出的時(shí),所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽,對(duì)應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對(duì)應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個(gè)所述固定塊,所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),從而實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,同時(shí),通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置,可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時(shí)放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實(shí)施例五一般的,對(duì)于實(shí)施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。哪家公司的減薄用清洗劑的是有質(zhì)量保障的?南京玻璃用減薄用清洗劑生產(chǎn)
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所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對(duì)應(yīng)設(shè)置,所述連接部433活動(dòng)連接所述支撐條431和所述第二支撐條432,所述支撐條431固定設(shè)置于所述底座41上,所述接觸部434均勻設(shè)置在所述第二支撐條432上。同時(shí)可通過設(shè)置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調(diào)節(jié)所述底支撐件43的高度,如通過將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的,所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置有磁性組,所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調(diào)節(jié)間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436,所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設(shè)置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上,且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力,從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設(shè)置有限位孔437,所述限位孔437設(shè)置為腰型孔,所述支撐條431的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干限位塊438,所述第二支撐條432的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干第二限位塊439,所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,對(duì)應(yīng)設(shè)置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置在同一所述連接部433的所述限位孔437內(nèi)。南通性價(jià)比高的減薄用清洗劑價(jià)格