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    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時，值得指出的時，所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的，所述豎直平板421上設置有若干豎槽，所述豎槽單側豎直有若干定槽，對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板，所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊，所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44，通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內，從而實現所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置，從而實現對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定，同時，通過所述側板422上所述調節(jié)槽的設置，可實現所述側板422上所述側支撐件44的位置調節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃，并可根據具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的，對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結構，可通過調節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示，圖7為所述底支撐件的結構正視圖；圖8為所述底支撐件的結構側視圖；所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434?；葜菔裁词菧p薄用清洗劑供應商選擇專業(yè)減薄用清洗劑，為您的產品質量保駕護航。

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    磁轉子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨，對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然，本發(fā)明并不限于此，在其他實施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定?；诖?，如圖2所示，本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設置在托盤10底部，用于對托盤10進行加熱，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合，鍵合時間20min。本發(fā)明實施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。高效、環(huán)保的減薄用清洗劑，為您的生產帶來綠色變化。

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