月）主營(yíng)產(chǎn)品：金屬清洗劑電氣設(shè)帶電清洗劑除銹劑除垢劑￥成都市凱亞環(huán)?？萍加邢薰舅诘兀核拇ǔ啥荚诰€詢價(jià)紫銅表面怎樣處理不變色銅制品表面如何防止氧化凈徹銅清洗劑分類銅清洗劑型號(hào)JC-030品牌凈徹香型無(wú)味PH值7-9保質(zhì)期24主營(yíng)產(chǎn)品：強(qiáng)力油污清洗劑殺菌滅藻劑除垢除銹劑管道預(yù)膜劑￥東莞市凈徹清洗劑科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)洋白銅清洗劑銅水基清洗劑銅合金清洗劑工業(yè)清洗劑類別中性清洗液型號(hào)HY-2260主要用途沖壓油、模具油污、粉塵、手汗、有機(jī)物等污垢的清洗執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)標(biāo)CAS無(wú)主營(yíng)產(chǎn)品：等離子拋光機(jī)等離子拋光鹽混凝土脫模劑建筑模板脫模劑￥深圳華億科技有限公司所在地：廣東深圳在線詢價(jià)供應(yīng)漢高紫銅清洗劑除油劑P3-T7221品牌德國(guó)漢高系列清洗劑分類油污清洗劑型號(hào)p3系列主營(yíng)產(chǎn)品：其他加工助劑工業(yè)用清洗劑防腐涂料其他表面活性劑上海帛頻實(shí)業(yè)有限公司所在地：上海閔行區(qū)在線詢價(jià)貽順103黃銅化學(xué)拋光劑金屬表面拋光環(huán)保洗銅水是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣州品牌貽順產(chǎn)品名稱黃銅化學(xué)拋光劑產(chǎn)品規(guī)格25kg/桶貨號(hào)Q/主營(yíng)產(chǎn)品：金屬工藝液工業(yè)用清洗劑金屬清洗劑碳￥廣州市貽順化工有限公司所在地：廣東廣州在線詢價(jià)供應(yīng)銅清洗劑安全清洗量大優(yōu)惠滲透力強(qiáng)產(chǎn)品名。減薄清洗劑，輕松應(yīng)對(duì)各種涂層挑戰(zhàn)，讓您的工作更輕松。紹興顯示面板用減薄用清洗劑推薦貨源

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    來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，還包括：在所述磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后，更換所述磁轉(zhuǎn)子?？蛇x地，將待加工部件固定在托盤(pán)上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤(pán)上。可選地，對(duì)所述待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對(duì)所述待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對(duì)所述光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤(pán)分離。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤(pán)固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光，采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄，由于減薄過(guò)程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

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    將待加工部件固定在托盤(pán)上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤(pán)上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤(pán)表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤(pán)光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤(pán)光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。s102：通過(guò)噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來(lái)對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光；s103：通過(guò)磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來(lái)對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。可選地，本發(fā)明實(shí)施例中，s102和s103可以交替進(jìn)行，也就是說(shuō)，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)，并控制噴頭噴涂拋光液，停止噴涂拋光液后，再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中，通過(guò)磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作，實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過(guò)程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無(wú)粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。由于減薄過(guò)程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。紹興顯示面板用減薄用清洗劑推薦貨源