實現(xiàn)玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時,控制玻璃的擺動幅度,提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區(qū)3的內(nèi)壁相鄰,并且具有滑動結(jié)構(gòu)以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內(nèi)的玻璃之中的靠外玻璃附近,從而便于對玻璃厚度進行檢測;具體的,在所述控制器的控制下,所述主厚度測量儀32通過向玻璃發(fā)射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經(jīng)歷滑動處理的同時將關(guān)于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器;所述控制器實時將預(yù)設(shè)的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度,則所述控制器停止減薄處理等操作,并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動。較佳的,所述主厚度測量儀32可包括:發(fā)射器,其用于發(fā)射激光束;接收器,其用于接收被玻璃反射的光束;以及分析器,其用于分析接收器中接收的光束并且計算玻璃厚度。所述主厚度測量儀32還可包括空氣噴射器,用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發(fā)射器發(fā)射的激光束的那部分。在通過發(fā)射器發(fā)射激光束之前,所述主厚度測量儀32控制所述空氣噴射器。口碑好的減薄用清洗劑的公司聯(lián)系方式。深圳中芯國際用減薄用清洗劑替代
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法。背景技術(shù):采用iii-v族化合物制作的半導(dǎo)體器件和超高速數(shù)字/數(shù)?;旌想娐返葢{借其優(yōu)良的頻率特性,已經(jīng)成為通訊、雷達、制導(dǎo)、空間防御、高速智能化武器及電子對抗等現(xiàn)代化裝備的部件之一。在眾多的iii-v族化合物中,inp(磷化銦)化合物具有獨特的優(yōu)勢,這主要得益于其優(yōu)良的材料特性,例如,inp和ingaas(銦鎵砷)之間的晶格失配很小,以及電子飽和速率很高等,所以不論是hemt(highelectronmobilitytransistor,高電子遷移率晶體管)結(jié)構(gòu)還是hbt(heterojunctionbipolartransistor,異質(zhì)結(jié)雙極晶體管)結(jié)構(gòu),都具有非常優(yōu)異的高頻、大功率性能。但是,inp材料的物理性能卻很差,非常易碎,很小的碰撞或振動都會導(dǎo)致晶圓碎裂而前功盡棄,因此,inp材料的制造加工面臨著很多工藝上的難題。尤其是在超高頻率、大功率的inp基rfic(射頻集成電路)的制造工藝中,如何在對inp基晶圓進行減薄拋光時,減小或避免inp基晶圓的損傷是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題之一。技術(shù)實現(xiàn)要素:有鑒于此,本發(fā)明提供了一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法,以減小或避免inp基晶圓的減薄拋光損傷。為實現(xiàn)上述目的。臺州哪家公司減薄用清洗劑價格使用減薄用清洗劑的需要什么條件。
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可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽,對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),從而實現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置,從而實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,同時,通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置,可實現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的,對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。去除多余涂層,減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。
若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上;所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個固定卡塊427,所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu),便于所述固定板423端面的朝向定位;對應(yīng)的,所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426,當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時,設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44,且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè),從而實現(xiàn)對所述盛放部內(nèi)玻璃的支撐限位。其中,如圖3所示,所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實施方式為,所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425,所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣,所述固定槽426對應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽,從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置,使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動。在本實施方式中,兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,同一所述水平槽424多只設(shè)置一個所述固定卡塊427。性價比高的減薄用清洗劑的公司。蘇州清洗效果好的減薄用清洗劑什么價格
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