降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發(fā)明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進行了固定，因此，對待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對待加工部件進行清洗；采用特定溶液對光刻膠進行腐蝕，以將待加工部件與托盤分離。具體地，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例提供的方法，還包括：在磁轉(zhuǎn)子運行一段時間后，更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后，可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言，由于其與實施例公開的方法相對應(yīng)，所以描述的比較簡單，相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明。質(zhì)量比較好的減薄用清洗劑的公司。廣東好用的減薄用清洗劑費用

    所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對應(yīng)設(shè)置，所述連接部433活動連接所述支撐條431和所述第二支撐條432，所述支撐條431固定設(shè)置于所述底座41上，所述接觸部434均勻設(shè)置在所述第二支撐條432上。同時可通過設(shè)置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調(diào)節(jié)所述底支撐件43的高度，如通過將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的，所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置有磁性組，所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調(diào)節(jié)間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436，所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設(shè)置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上，且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力，從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設(shè)置有限位孔437，所述限位孔437設(shè)置為腰型孔，所述支撐條431的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干限位塊438，所述第二支撐條432的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干第二限位塊439，所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對應(yīng)設(shè)置，對應(yīng)設(shè)置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置在同一所述連接部433的所述限位孔437內(nèi)。池州清洗效果好的減薄用清洗劑報價減薄清洗劑，輕松解決涂層過厚問題，讓您的產(chǎn)品更好。

    所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實時測量玻璃的厚度，并且將關(guān)于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達到目標(biāo)厚度。如果確定玻璃厚度達到目標(biāo)厚度，則所述控制器停止對玻璃進行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運動，進而通過所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動，從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸，提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；具體的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42，所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上；所述底座41上設(shè)置有底支撐件43，所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸，在玻璃底部提供支撐效果；所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44，所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置。

    即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有一排所述固定板423，從而形成對應(yīng)設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部內(nèi)放置有一排玻璃，可實現(xiàn)所述放置部結(jié)構(gòu)的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設(shè)置若干所述放置部以使各所述放置部對應(yīng)不同尺寸的玻璃。圖4為所述調(diào)節(jié)槽的另一種實施方式，所述調(diào)節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424可設(shè)置兩個所述固定卡塊427，即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對應(yīng)兩所述豎直平板421，使在同一所述放置部內(nèi)分割處兩個放置空間，從而在各所述放置部內(nèi)可放置兩排玻璃，便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間，可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設(shè)置于同一所述放置部內(nèi)。較佳的，兩相鄰所述水平槽424之間還設(shè)置有至少兩個定位槽428，所述固定板423兩端設(shè)置有定位孔429，當(dāng)所述固定卡塊427設(shè)置于所述固定槽426內(nèi)時，所述定位槽428和所述定位孔429位置對應(yīng)；通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中，保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內(nèi)。減薄清洗劑，助您輕松打造高精度產(chǎn)品，滿足客戶需求。

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