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將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合,鍵合時間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進(jìn)行拋光;s103:通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,來對待加工表面進(jìn)行減薄??蛇x地,本發(fā)明實施例中,s102和s103可以交替進(jìn)行,也就是說,控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時間后,控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn),并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),以此類推。本發(fā)明實施例中,通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作,實現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復(fù)度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達(dá)到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。蘇州玻璃用減薄用清洗劑價格清洗劑的分類有哪些;
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若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上;所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個固定卡塊427,所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu),便于所述固定板423端面的朝向定位;對應(yīng)的,所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426,當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時,設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44,且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè),從而實現(xiàn)對所述盛放部內(nèi)玻璃的支撐限位。其中,如圖3所示,所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實施方式為,所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425,所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣,所述固定槽426對應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽,從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置,使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動。在本實施方式中,兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,同一所述水平槽424多只設(shè)置一個所述固定卡塊427。哪家減薄用清洗劑的是口碑推薦?深圳半導(dǎo)體減薄用清洗劑訂做價格
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