圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤(pán)和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當(dāng)然，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等，托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中，托盤(pán)10，可選為石英托盤(pán)，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。哪里可以買(mǎi)到玻璃清洗劑；合肥玻璃用減薄用清洗劑訂做價(jià)格

    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過(guò)旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過(guò)程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。可選地，本發(fā)明實(shí)施例中通過(guò)光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤(pán)10。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，在其他實(shí)施例中，待加工部件20和托盤(pán)10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定?；诖耍鐖D2所示，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤(pán)10底部，用于對(duì)托盤(pán)10進(jìn)行加熱，以使待加工部件20與托盤(pán)10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤(pán)10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤(pán)10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤(pán)10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來(lái)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說(shuō)明的是。蕪湖性價(jià)比高的減薄用清洗劑替代高效去除涂層，減薄用清洗劑讓您的生產(chǎn)更順暢。

    經(jīng)減薄處理后的玻璃可再次進(jìn)入所述沖洗區(qū)2以經(jīng)歷減薄后清潔并且通過(guò)所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載到外部；所述玻璃減薄設(shè)備還設(shè)置有制動(dòng)組件，通過(guò)所述制動(dòng)組件實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動(dòng)，以及從所述蝕刻區(qū)3經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的減薄后移動(dòng)。在本實(shí)施例中，圖1內(nèi)并排設(shè)置有2個(gè)所述玻璃減薄設(shè)備，所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2，所述第二沖洗區(qū)2設(shè)置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間，所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉(zhuǎn)換區(qū)1之間，所述第三沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉(zhuǎn)換區(qū)1可升降的折疊式結(jié)構(gòu)，從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的放置或卸下。較佳的，所述轉(zhuǎn)換區(qū)1還設(shè)置有裝卸臂，通過(guò)所述裝卸臂可實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4的上下料，以及單片玻璃的拿取檢測(cè)。實(shí)施例二如圖2所示，圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測(cè)量?jī)x32、噴淋組件33和控制器；所述噴淋組件33在所述腔室31中對(duì)設(shè)置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理，所述主厚度測(cè)量?jī)x32實(shí)時(shí)測(cè)量在所述腔室31內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度。

    本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法。背景技術(shù)：采用iii-v族化合物制作的半導(dǎo)體器件和超高速數(shù)字/數(shù)?；旌想娐返葢{借其優(yōu)良的頻率特性，已經(jīng)成為通訊、雷達(dá)、制導(dǎo)、空間防御、高速智能化武器及電子對(duì)抗等現(xiàn)代化裝備的部件之一。在眾多的iii-v族化合物中，inp(磷化銦)化合物具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，這主要得益于其優(yōu)良的材料特性，例如，inp和ingaas(銦鎵砷)之間的晶格失配很小，以及電子飽和速率很高等，所以不論是hemt(highelectronmobilitytransistor，高電子遷移率晶體管)結(jié)構(gòu)還是hbt(heterojunctionbipolartransistor，異質(zhì)結(jié)雙極晶體管)結(jié)構(gòu)，都具有非常優(yōu)異的高頻、大功率性能。但是，inp材料的物理性能卻很差，非常易碎，很小的碰撞或振動(dòng)都會(huì)導(dǎo)致晶圓碎裂而前功盡棄，因此，inp材料的制造加工面臨著很多工藝上的難題。尤其是在超高頻率、大功率的inp基rfic(射頻集成電路)的制造工藝中，如何在對(duì)inp基晶圓進(jìn)行減薄拋光時(shí)，減小或避免inp基晶圓的損傷是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問(wèn)題之一。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：有鑒于此，本發(fā)明提供了一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法，以減小或避免inp基晶圓的減薄拋光損傷。為實(shí)現(xiàn)上述目的。減薄清洗劑，良好品質(zhì)，值得信賴，讓您的加工更輕松。

    7保質(zhì)期24主營(yíng)產(chǎn)品：工業(yè)清洗劑空調(diào)清洗劑水處理藥劑除銹除油劑￥所在地：四川眉山在線詢價(jià)供應(yīng)鋁材防氧劑、銅保護(hù)劑、銅清洗劑產(chǎn)品名稱銅保護(hù)劑品牌FABLE/福邦系列36是否危險(xiǎn)化學(xué)品否是否進(jìn)口否主營(yíng)產(chǎn)品：工業(yè)潤(rùn)滑油自行車潤(rùn)滑油鐘表加工潤(rùn)滑油防水油食品級(jí)油格林潤(rùn)滑科技（惠州）有限公司所在地：廣東惠州在線詢價(jià)KRB-206環(huán)保鋁、銅清洗劑鋁制品清洗劑強(qiáng)除油無(wú)腐蝕不變色類別堿性清洗液型號(hào)KRB-206主要用途金屬表面除油脫脂執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)標(biāo)企標(biāo)CAS略主營(yíng)產(chǎn)品：切削液除銹劑防銹油防銹劑清洗劑除油粉中性除油除銹劑￥武漢科瑞博科技有限公司所在地：湖北武漢在線詢價(jià)生產(chǎn)廠家提供銅及其合金高效清洗劑1分鐘快速油污清洗劑分類銅清洗劑型號(hào)HWJ-781品牌輝煒佳PH值8-9保質(zhì)期18CAS無(wú)主營(yíng)產(chǎn)品：陶化劑硅烷處理劑脫漆劑鈍化劑￥東莞市輝煒佳金屬科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)供應(yīng)銷售環(huán)保型銅化學(xué)拋光劑如銅化學(xué)拋光劑，銅酸洗工藝，銅拋光劑，銅清洗劑，銅本色清洗，銅氧化皮清洗分類精密電子儀器清洗劑型號(hào)Q810PH值保質(zhì)期。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司。浙江半導(dǎo)體減薄用清洗劑

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    所述主厚度測(cè)量?jī)x32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測(cè)量?jī)x32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量玻璃的厚度，并且將關(guān)于測(cè)得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實(shí)時(shí)確定從所述主厚度測(cè)量?jī)x32接收的玻璃的厚度是否達(dá)到目標(biāo)厚度。如果確定玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度，則所述控制器停止對(duì)玻璃進(jìn)行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動(dòng)至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實(shí)施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實(shí)現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而通過(guò)所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸，提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；具體的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42，所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上；所述底座41上設(shè)置有底支撐件43，所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸，在玻璃底部提供支撐效果；所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44，所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置。合肥玻璃用減薄用清洗劑訂做價(jià)格