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    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進行拋光；磁轉(zhuǎn)子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進行機械研磨，對所述待加工表面進行減薄?？蛇x地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄?？蛇x地，所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨?？蛇x地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，還包括：熱板，設(shè)置于所述托盤底部，用于對所述托盤進行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定。可選地，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光；通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進行機械研磨。惠州市面上哪家減薄用清洗劑費用是多少