本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光；磁轉(zhuǎn)子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作，以對(duì)所述待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄?？蛇x地，所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層，以通過所述研磨層對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨?？蛇x地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，還包括：熱板，設(shè)置于所述托盤底部，用于對(duì)所述托盤進(jìn)行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定?？蛇x地，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光；通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。蘇州高質(zhì)量的減薄用清洗劑的公司。國產(chǎn)減薄用清洗劑替代品

    本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法。背景技術(shù)：采用iii-v族化合物制作的半導(dǎo)體器件和超高速數(shù)字/數(shù)?；旌想娐返葢{借其優(yōu)良的頻率特性，已經(jīng)成為通訊、雷達(dá)、制導(dǎo)、空間防御、高速智能化武器及電子對(duì)抗等現(xiàn)代化裝備的部件之一。在眾多的iii-v族化合物中，inp(磷化銦)化合物具有獨(dú)特的優(yōu)勢，這主要得益于其優(yōu)良的材料特性，例如，inp和ingaas(銦鎵砷)之間的晶格失配很小，以及電子飽和速率很高等，所以不論是hemt(highelectronmobilitytransistor，高電子遷移率晶體管)結(jié)構(gòu)還是hbt(heterojunctionbipolartransistor，異質(zhì)結(jié)雙極晶體管)結(jié)構(gòu)，都具有非常優(yōu)異的高頻、大功率性能。但是，inp材料的物理性能卻很差，非常易碎，很小的碰撞或振動(dòng)都會(huì)導(dǎo)致晶圓碎裂而前功盡棄，因此，inp材料的制造加工面臨著很多工藝上的難題。尤其是在超高頻率、大功率的inp基rfic(射頻集成電路)的制造工藝中，如何在對(duì)inp基晶圓進(jìn)行減薄拋光時(shí)，減小或避免inp基晶圓的損傷是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題之一。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：有鑒于此，本發(fā)明提供了一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法，以減小或避免inp基晶圓的減薄拋光損傷。為實(shí)現(xiàn)上述目的。安徽中芯國際用減薄用清洗劑私人定做減薄用清洗劑，專為去除多余涂層設(shè)計(jì)，不留痕跡。。

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    若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上；所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個(gè)固定卡塊427，所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu)，便于所述固定板423端面的朝向定位；對(duì)應(yīng)的，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426，當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時(shí)，設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對(duì)應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44，且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述盛放部內(nèi)玻璃的支撐限位。其中，如圖3所示，所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實(shí)施方式為，所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣，所述固定槽426對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽，從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置，使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424多只設(shè)置一個(gè)所述固定卡塊427。哪家減薄用清洗劑的的性價(jià)比好？江蘇哪里減薄用清洗劑銷售電話

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