并控制磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11每間隔20s旋轉(zhuǎn)10s，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)后，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，以此類推。本發(fā)明實施例中，控制部件在脈沖工作模式下，實現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達到20μm，拋光面ra＜2nm。還需要說明的是，本發(fā)明實施例中，在減薄的過程中，可以不斷更換磁轉(zhuǎn)子12，如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后，將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。此外，本發(fā)明實施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例還提供了一種拋光減薄方法，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上，待加工部件包括inp基晶圓；可選地。哪家公司的減薄用清洗劑的是有質(zhì)量保障的？深圳減薄用清洗劑什么價格

    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理，以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比，可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈，從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的，當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內(nèi)，可判斷所述主厚度測量儀32失靈；在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時，可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈，所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi)，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1內(nèi)，經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉(zhuǎn)移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進行減薄處理期間。江蘇中芯國際用減薄用清洗劑什么價格減薄清洗劑，采用科技，為您帶來好的清潔效果。

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    實現(xiàn)玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時，控制玻璃的擺動幅度，提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區(qū)3的內(nèi)壁相鄰，并且具有滑動結(jié)構(gòu)以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內(nèi)的玻璃之中的靠外玻璃附近，從而便于對玻璃厚度進行檢測；具體的，在所述控制器的控制下，所述主厚度測量儀32通過向玻璃發(fā)射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經(jīng)歷滑動處理的同時將關于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器；所述控制器實時將預設的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度，則所述控制器停止減薄處理等操作，并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動。較佳的，所述主厚度測量儀32可包括：發(fā)射器，其用于發(fā)射激光束；接收器，其用于接收被玻璃反射的光束；以及分析器，其用于分析接收器中接收的光束并且計算玻璃厚度。所述主厚度測量儀32還可包括空氣噴射器，用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發(fā)射器發(fā)射的激光束的那部分。在通過發(fā)射器發(fā)射激光束之前，所述主厚度測量儀32控制所述空氣噴射器。去除多余涂層，選擇減薄用清洗劑，效果好。

    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中數(shù)字表示：1-轉(zhuǎn)換區(qū)；2-沖洗區(qū)；3-蝕刻區(qū)；4-玻璃加工治具；31-腔室；32-主厚度測量儀；33-噴淋組件；41-底座；42-支撐架；43-底支撐件；44-側(cè)支撐件；421-豎直平板；422-側(cè)板；423-固定板；424-水平槽；425-豎直槽；426-固定槽；427-固定卡塊；428-定位槽；429-定位孔；431-支撐條；432-第二支撐條；433-連接部；434-接觸部；435-磁性件；436-第二磁性件；437-限位孔；438-限位塊；439-第二限位塊。具體實施方式以下結(jié)合附圖，對本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點作更詳細的說明。實施例一如圖1所示，圖1為所述玻璃減薄設備的結(jié)構(gòu)視圖；本發(fā)明中所述玻璃減薄設備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3，所述沖洗區(qū)2設置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間，豎直容納在玻璃加工治具4中的多個玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中，在所述沖洗區(qū)2中進行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。蘇州博洋化學股份有限公司清洗劑；江蘇中芯國際用減薄用清洗劑什么價格

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