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    磁轉子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨，對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然，本發(fā)明并不限于此，在其他實施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定?；诖?，如圖2所示，本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設置在托盤10底部，用于對托盤10進行加熱，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合，鍵合時間20min。本發(fā)明實施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。合肥性價比高的減薄用清洗劑訂做價格如何挑選一款適合自己的減薄用清洗劑？

    故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經歷減薄處理，以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比，可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈，從而在后期根據所述輔助厚度測量儀的檢測數據判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的，當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內，可判斷所述主厚度測量儀32失靈；在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時，可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈，所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區(qū)1內，經所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進行減薄處理期間。

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    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時，值得指出的時，所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的，所述豎直平板421上設置有若干豎槽，所述豎槽單側豎直有若干定槽，對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板，所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊，所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44，通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內，從而實現所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置，從而實現對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定，同時，通過所述側板422上所述調節(jié)槽的設置，可實現所述側板422上所述側支撐件44的位置調節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃，并可根據具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理。實施例五一般的，對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結構，可通過調節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示，圖7為所述底支撐件的結構正視圖；圖8為所述底支撐件的結構側視圖；所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。專業(yè)減薄用清洗劑，為您解決生產中的涂層難題。廣東清洗效果好的減薄用清洗劑訂做價格

減薄用清洗劑的類別一般有哪些？玻璃用減薄用清洗劑價格

    較佳的，所述沖洗區(qū)包括沖洗區(qū)、第二沖洗區(qū)和第三沖洗區(qū)，所述第二沖洗區(qū)設置于所述沖洗區(qū)和所述第三沖洗區(qū)之間，所述沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述轉換區(qū)之間，所述第三沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的，所述沖洗區(qū)設置有輔助厚度測量儀。較佳的，所述第三沖洗區(qū)設置有第二輔助厚度測量儀。較佳的，所述轉換區(qū)設置為可升降的折疊式結構。較佳的，所述轉換區(qū)設置有裝卸臂。與現有技術比較本發(fā)明的有益效果在于：1，本發(fā)明中所述玻璃減薄生產線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理，可實現單次多片玻璃減薄，同時避免浸泡式減薄法中反應產物粘附在玻璃上造成不良品的問題；2，本發(fā)明中所述玻璃加工治具在減薄處理時進行往復移動使側支撐件與玻璃之間接觸點產生變化，從而避免所述側支撐件與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋而產生的不良次品問題；3，本發(fā)明通過所述側支撐件的固定結構，可實現所述側支撐件的位置調節(jié)，從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時設置于玻璃加工治具上同時進行減薄處理。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設備的結構示意圖。玻璃用減薄用清洗劑價格