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    降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。由于本發(fā)明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進(jìn)行了固定，因此，對待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將待加工部件與托盤分離。具體地，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例提供的方法，還包括：在磁轉(zhuǎn)子運行一段時間后，更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后，可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言，由于其與實施例公開的方法相對應(yīng)，所以描述的比較簡單，相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明。南通國產(chǎn)減薄用清洗劑報價蘇州博洋化學(xué)股份有限公司清洗劑；

    月）主營產(chǎn)品：金屬清洗劑電氣設(shè)帶電清洗劑除銹劑除垢劑￥成都市凱亞環(huán)?？萍加邢薰舅诘兀核拇ǔ啥荚诰€詢價紫銅表面怎樣處理不變色銅制品表面如何防止氧化凈徹銅清洗劑分類銅清洗劑型號JC-030品牌凈徹香型無味PH值7-9保質(zhì)期24主營產(chǎn)品：強(qiáng)力油污清洗劑殺菌滅藻劑除垢除銹劑管道預(yù)膜劑￥東莞市凈徹清洗劑科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價洋白銅清洗劑銅水基清洗劑銅合金清洗劑工業(yè)清洗劑類別中性清洗液型號HY-2260主要用途沖壓油、模具油污、粉塵、手汗、有機(jī)物等污垢的清洗執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國標(biāo)CAS無主營產(chǎn)品：等離子拋光機(jī)等離子拋光鹽混凝土脫模劑建筑模板脫模劑￥深圳華億科技有限公司所在地：廣東深圳在線詢價供應(yīng)漢高紫銅清洗劑除油劑P3-T7221品牌德國漢高系列清洗劑分類油污清洗劑型號p3系列主營產(chǎn)品：其他加工助劑工業(yè)用清洗劑防腐涂料其他表面活性劑上海帛頻實業(yè)有限公司所在地：上海閔行區(qū)在線詢價貽順103黃銅化學(xué)拋光劑金屬表面拋光環(huán)保洗銅水是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣州品牌貽順產(chǎn)品名稱黃銅化學(xué)拋光劑產(chǎn)品規(guī)格25kg/桶貨號Q/主營產(chǎn)品：金屬工藝液工業(yè)用清洗劑金屬清洗劑碳￥廣州市貽順化工有限公司所在地：廣東廣州在線詢價供應(yīng)銅清洗劑安全清洗量大優(yōu)惠滲透力強(qiáng)產(chǎn)品名。

    并控制磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11每間隔20s旋轉(zhuǎn)10s，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)后，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，以此類推。本發(fā)明實施例中，控制部件在脈沖工作模式下，實現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。還需要說明的是，本發(fā)明實施例中，在減薄的過程中，可以不斷更換磁轉(zhuǎn)子12，如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后，將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。此外，本發(fā)明實施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例還提供了一種拋光減薄方法，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上，待加工部件包括inp基晶圓；可選地。減薄清洗劑，助您輕松打造高精度產(chǎn)品，滿足客戶需求。

    即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有一排所述固定板423，從而形成對應(yīng)設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部內(nèi)放置有一排玻璃，可實現(xiàn)所述放置部結(jié)構(gòu)的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設(shè)置若干所述放置部以使各所述放置部對應(yīng)不同尺寸的玻璃。圖4為所述調(diào)節(jié)槽的另一種實施方式，所述調(diào)節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424可設(shè)置兩個所述固定卡塊427，即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對應(yīng)兩所述豎直平板421，使在同一所述放置部內(nèi)分割處兩個放置空間，從而在各所述放置部內(nèi)可放置兩排玻璃，便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間，可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設(shè)置于同一所述放置部內(nèi)。較佳的，兩相鄰所述水平槽424之間還設(shè)置有至少兩個定位槽428，所述固定板423兩端設(shè)置有定位孔429，當(dāng)所述固定卡塊427設(shè)置于所述固定槽426內(nèi)時，所述定位槽428和所述定位孔429位置對應(yīng)；通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中，保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內(nèi)。減薄清洗劑，輕松解決涂層過厚問題，讓您的產(chǎn)品更好。寧波中芯國際用減薄用清洗劑銷售價格

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