用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時去除噴淋液,從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測量數(shù)據(jù)。一般的,所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測量儀,所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度,所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設(shè)置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作。一般的,從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍,則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下,所述控制器發(fā)出警報來通知管理者,所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常可能是暫時的。減薄用清洗劑的的參考價格大概是多少?蕪湖半導(dǎo)體減薄用清洗劑推薦廠家
在本發(fā)明的一個實施例中,拋光液110的主要成分包括:碳化硅顆粒,顆粒直徑為50nm~200nm,體積比為3%~5%;次氯酸鹽,體積比為30%~40%;氫溴酸,體積比為5%~7%,di水,體積比50~60%。本發(fā)明的一個實施例中,如圖3所示,磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121,以通過研磨層121對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。當(dāng)然,本發(fā)明并不僅限于此,在其他實施例中,可以根據(jù)實際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀??蛇x地,研磨層121為金屬氧化物層,進(jìn)一步可選地,金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地,研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實施例中,如圖4所示,磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn),如沿逆時針或順時針方向旋轉(zhuǎn),并且,磁轉(zhuǎn)子12的長度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑,以對整個待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實施例中,拋光減薄裝置還包括控制部件??刂撇考c磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連,用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作,以對待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中,控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作??蛇x地,控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm~200rpm。惠州顯示面板用減薄用清洗劑配方技術(shù)減薄清洗劑,專業(yè)解決涂層過厚難題,提高產(chǎn)品良率。
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若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上;所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個固定卡塊427,所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu),便于所述固定板423端面的朝向定位;對應(yīng)的,所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426,當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時,設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44,且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè),從而實現(xiàn)對所述盛放部內(nèi)玻璃的支撐限位。其中,如圖3所示,所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實施方式為,所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425,所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣,所述固定槽426對應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽,從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置,使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動。在本實施方式中,兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,同一所述水平槽424多只設(shè)置一個所述固定卡塊427。去除多余涂層,減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。
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