故所述控制器在從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃厚度超出目標厚度的公差范圍時，可再次控制所述玻璃加工治具4回到所述蝕刻區(qū)3，并且控制玻璃在所述蝕刻區(qū)3中再次經(jīng)歷減薄處理，以將玻璃處理為目標厚度。同時通過所述輔助厚度測量儀提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度，可與所述主厚度測量儀32檢測的初始厚度作對比，可判斷所述主厚度測量儀32是否失靈，從而在后期根據(jù)所述輔助厚度測量儀的檢測數(shù)據(jù)判斷是否需再次進入所述腔室31。具體的，當所述輔助厚度測量儀檢測厚度與所述主厚度測量儀32檢測的初始檢測厚度不在公差范圍之內(nèi)，可判斷所述主厚度測量儀32失靈；在當后期減薄后所述輔助厚度測量儀的檢測厚度不符合目標厚度時，可判斷所述主厚度測量儀32非暫時失靈，所述控制器警報提醒并不再將所述玻璃加工治具4回撤至所述腔室31內(nèi)，而將所述玻璃加工治具4從所述刻蝕區(qū)撤出，并等待所述主厚度測量儀32的維修完成。實施例七采用本發(fā)明所述玻璃減薄生產(chǎn)線的具體工藝流程為：s1，將豎直容納玻璃的所述玻璃加工治具4放置在所述轉換區(qū)1內(nèi)，經(jīng)所述沖洗區(qū)2減薄前清洗后轉移至所述蝕刻區(qū)3，所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理；具體的，在所述蝕刻區(qū)3中進行減薄處理期間。減薄用清洗劑的使用時要注意什么？深圳好用的減薄用清洗劑生產(chǎn)

    來對所述待加工表面進行減薄?？蛇x地，還包括：在所述磁轉子運行一段時間后，更換所述磁轉子。可選地，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上?？蛇x地，對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對所述待加工部件進行清洗；采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明所提供的技術方案具有以下優(yōu)點：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光，采用磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨，來對所述待加工表面進行減薄，由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應力，降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。安徽玻璃用減薄用清洗劑私人定做減薄清洗劑采用獨特配方，提高工作效率。

    且所述限位塊438和所述第二限位塊439均可在所述限位孔437內(nèi)移動，通過所述連接部433的限位效果，避免所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力作用下產(chǎn)生脫離，從而使所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力和所述連接部433的限位力作用下保持平衡。一般的，所述位塊438和所述第二限位塊439均設置為圓柱型，從而便于所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述限位孔437內(nèi)的移動。當放置于所述底支撐件43上的玻璃受到?jīng)_擊或振動時，所述支撐條431可相對于所述第二支撐條432作水平方向的偏移移動，或所述限位塊438和所述第二限位塊439均在所述限位孔437內(nèi)移動，使所述支撐條431可相對于所述第二支撐條432作豎直方向的移動，從而可實現(xiàn)對各個方向上沖擊力或振動的吸收緩沖效果，提高玻璃的安全性。較佳的，所述限位塊438和所述第二限位塊439可設置為螺釘，所述限位孔437寬度配合所述螺釘?shù)穆菁y直徑設置，在所述支撐條431和所述第二支撐條432上設置螺紋孔，通過將所述限位塊438和所述第二限位塊439與所述螺紋孔螺紋連接，從而實現(xiàn)所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述支撐條431和所述第二支撐條432上的固定。通過將所述限位塊438和所述第二限位塊439設置為螺釘。

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