所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時(shí)實(shí)時(shí)測量玻璃的厚度，并且將關(guān)于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實(shí)時(shí)確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達(dá)到目標(biāo)厚度。如果確定玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度，則所述控制器停止對玻璃進(jìn)行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實(shí)施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實(shí)現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運(yùn)動，進(jìn)而通過所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動，從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸，提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；具體的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42，所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上；所述底座41上設(shè)置有底支撐件43，所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸，在玻璃底部提供支撐效果；所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44，所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置。哪家公司的減薄用清洗劑的品質(zhì)比較好？深圳哪家公司減薄用清洗劑技術(shù)指標(biāo)

    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時(shí)，值得指出的時(shí)，所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式，具體的，所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽，所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽，對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板，所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個(gè)所述固定塊，所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置，從而實(shí)現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定，同時(shí)，通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃，并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時(shí)放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實(shí)施例五一般的，對于實(shí)施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu)，可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示，圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。蕪湖哪家減薄用清洗劑銷售廠如何區(qū)分減薄用清洗劑的的質(zhì)量好壞。

    所述控制器用于控制減薄處理過程，具體的，在所述玻璃加工治具4從所述沖洗區(qū)2移動至所述腔室31內(nèi)合適位置時(shí)打開所述噴淋組件33進(jìn)行減薄處理操作，并在由所述主厚度測量儀32測得的玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí)關(guān)閉所述噴淋組件33停止對玻璃進(jìn)行的減薄處理，以及在減薄完成后控制所述玻璃加工治具4再次向所述沖洗區(qū)2移動。所述控制器在噴淋減薄過程中控制所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)移動。一般的，所述噴淋組件33包括設(shè)置于所述腔室31頂部的噴淋頭、設(shè)置于所述腔室31底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具4上的玻璃噴淋噴淋液從而實(shí)現(xiàn)玻璃的減薄處理，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室31內(nèi)排出。在經(jīng)歷過減薄處理的玻璃從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載之后，將容納玻璃的下一個(gè)玻璃加工治具4通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1加載到所述腔室31中并且如上所述經(jīng)歷減薄處理。通過以上操作，玻璃順序地經(jīng)歷減薄處理。值得指出的是，通過所述主厚度測量儀32測量在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷過減薄處理的所述玻璃厚度達(dá)到指定尺寸后再通過所述傳輸組件將玻璃卸載到所述腔室31外部。具體地。

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    并控制磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11每間隔20s旋轉(zhuǎn)10s，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)后，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中，控制部件在脈沖工作模式下，實(shí)現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。還需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例中，在減薄的過程中，可以不斷更換磁轉(zhuǎn)子12，如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時(shí)后，將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。此外，本發(fā)明實(shí)施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮?dú)獯蹈伞Ｖ?，將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種拋光減薄方法，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上，待加工部件包括inp基晶圓；可選地。減薄清洗劑，采用科技，為您帶來好的清潔效果。深圳玻璃用減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨

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    所述控制器進(jìn)行第二次減薄厚度確認(rèn)操作；具體的，通過設(shè)置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測量儀進(jìn)行厚度檢測，從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作，當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí)，所述玻璃加工治具4可再次進(jìn)入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進(jìn)行減薄處理。所述主厚度測量儀32設(shè)置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實(shí)時(shí)測量玻璃厚度，使得玻璃可更準(zhǔn)確地具有目標(biāo)厚度；所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中，并且再次測量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查設(shè)置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作，并且使減薄玻璃的缺陷率降至；且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查設(shè)置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作；所述第二輔助厚度測量儀設(shè)置在所述第三沖洗區(qū)2，從而在減薄后清洗終完成后，再次進(jìn)行厚度檢測，從而檢測預(yù)從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運(yùn)出的玻璃是否符合標(biāo)準(zhǔn)，并進(jìn)一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，對本發(fā)明而言是說明性的，而非限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解，在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對其進(jìn)行許多改變，修改，甚至等效，但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。深圳哪家公司減薄用清洗劑技術(shù)指標(biāo)