所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時(shí)實(shí)時(shí)測量玻璃的厚度，并且將關(guān)于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實(shí)時(shí)確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達(dá)到目標(biāo)厚度。如果確定玻璃厚度達(dá)到目標(biāo)厚度，則所述控制器停止對玻璃進(jìn)行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動(dòng)至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實(shí)施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實(shí)現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而通過所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸，提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；具體的，所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42，所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上；所述底座41上設(shè)置有底支撐件43，所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸，在玻璃底部提供支撐效果；所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44，所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置。好的減薄用清洗劑公司的標(biāo)準(zhǔn)是什么。廣州哪里減薄用清洗劑產(chǎn)品介紹

    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中數(shù)字表示：1-轉(zhuǎn)換區(qū)；2-沖洗區(qū)；3-蝕刻區(qū)；4-玻璃加工治具；31-腔室；32-主厚度測量儀；33-噴淋組件；41-底座；42-支撐架；43-底支撐件；44-側(cè)支撐件；421-豎直平板；422-側(cè)板；423-固定板；424-水平槽；425-豎直槽；426-固定槽；427-固定卡塊；428-定位槽；429-定位孔；431-支撐條；432-第二支撐條；433-連接部；434-接觸部；435-磁性件；436-第二磁性件；437-限位孔；438-限位塊；439-第二限位塊。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖，對本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說明。實(shí)施例一如圖1所示，圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖；本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3，所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間，豎直容納在玻璃加工治具4中的多個(gè)玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中，在所述沖洗區(qū)2中進(jìn)行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。深圳玻璃用減薄用清洗劑產(chǎn)品介紹蘇州博洋化學(xué)股份有限公司清洗劑；

    來對所述待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，還包括：在所述磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后，更換所述磁轉(zhuǎn)子?？蛇x地，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上?？蛇x地，對所述待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對所述待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對所述光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進(jìn)行拋光，采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來對所述待加工表面進(jìn)行減薄，由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，在其他實(shí)施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定?；诖耍鐖D2所示，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤10底部，用于對托盤10進(jìn)行加熱，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說明的是。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司。

    即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有一排所述固定板423，從而形成對應(yīng)設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421，在各所述放置部內(nèi)放置有一排玻璃，可實(shí)現(xiàn)所述放置部結(jié)構(gòu)的小型化，便于在同一所述玻璃加工治具4上設(shè)置若干所述放置部以使各所述放置部對應(yīng)不同尺寸的玻璃。圖4為所述調(diào)節(jié)槽的另一種實(shí)施方式，所述調(diào)節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣；兩所述豎直平板421均設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424可設(shè)置兩個(gè)所述固定卡塊427，即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有兩排所述固定板423，兩所述固定板423分別對應(yīng)兩所述豎直平板421，使在同一所述放置部內(nèi)分割處兩個(gè)放置空間，從而在各所述放置部內(nèi)可放置兩排玻璃，便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間，可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設(shè)置于同一所述放置部內(nèi)。較佳的，兩相鄰所述水平槽424之間還設(shè)置有至少兩個(gè)定位槽428，所述固定板423兩端設(shè)置有定位孔429，當(dāng)所述固定卡塊427設(shè)置于所述固定槽426內(nèi)時(shí)，所述定位槽428和所述定位孔429位置對應(yīng)；通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中，保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內(nèi)。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好？浙江減薄用清洗劑銷售公司

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    通過旋緊螺釘使螺釘?shù)亩祟^部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸，從而實(shí)現(xiàn)對所述連接部433的固定，避免所述連接部433在振動(dòng)時(shí)發(fā)生脫離等情況。同時(shí)螺釘?shù)脑O(shè)置，可實(shí)現(xiàn)所述底支撐件43結(jié)構(gòu)的快速裝卸，便于維修更換。值得指出的是，為達(dá)到防止所述連接部433脫離的效果，所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設(shè)置為螺釘，通過在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設(shè)置橫截面合適的部件，使所述限位塊438、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接，即可實(shí)現(xiàn)螺釘?shù)男Ч?。所述接觸部434設(shè)置有弧形槽，玻璃的下邊緣設(shè)置于所述弧形槽內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)所述底支撐件43對玻璃的位置固定。在進(jìn)行減薄或其他加工過程中，玻璃通過所述玻璃加工治具4進(jìn)行移動(dòng)或放置時(shí)，均會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)；同時(shí)在進(jìn)行蝕刻沖刷時(shí)，在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定，易使玻璃產(chǎn)生彎曲，通過所述底支撐件43的結(jié)構(gòu)設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)設(shè)置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐，有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力，避免振動(dòng)或沖擊對玻璃帶來的損傷；同時(shí)可有效降低所述玻璃加工治具4往復(fù)移動(dòng)帶來的振動(dòng)，使玻璃底部在所述連接部433的限制下進(jìn)行小幅度的移動(dòng)，在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動(dòng)。廣州哪里減薄用清洗劑產(chǎn)品介紹