本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術(shù)::印刷布線(xiàn)板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細(xì)布線(xiàn)化而使用胺系的剝離液。然而,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規(guī)制度的問(wèn)題,而避免其使用。近年來(lái),為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問(wèn)題點(diǎn),還報(bào)道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專(zhuān)利文獻(xiàn)1),由于剝離時(shí)的抗蝕劑沒(méi)有微細(xì)地粉碎,因此存在近年的微細(xì)的布線(xiàn)間的抗蝕劑難以除去的問(wèn)題點(diǎn)?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2002-323776號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問(wèn)題因此,本發(fā)明的課題在于,提供容易除去微細(xì)的布線(xiàn)間的抗蝕劑的技術(shù)。用于解決問(wèn)題的手段本發(fā)明人等為了解決上述課題而深入研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn),含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專(zhuān)利文獻(xiàn)1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,即使是非常微細(xì)的布線(xiàn)間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎,從而完成本發(fā)明。即,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,含有鉀鹽和溶纖劑。另外,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的除去方法,其特征在于,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。此外,本發(fā)明涉及一種抗蝕劑的剝離液套件。什么制程中需要使用剝離液。無(wú)錫鋁鉬鋁蝕刻液剝離液銷(xiāo)售廠(chǎng)家
本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法,請(qǐng)參閱圖5,圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖,該方法包括:步驟110、將多級(jí)腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級(jí)向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來(lái)自于當(dāng)前級(jí)腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲(chǔ)于當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的存儲(chǔ)箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當(dāng)前級(jí)腔室相應(yīng)的過(guò)濾器過(guò)濾來(lái)自當(dāng)前級(jí)腔室的剝離液并將過(guò)濾后的剝離液傳輸至下一級(jí)腔室;步驟140、若所述過(guò)濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過(guò)濾器的管道上的閥門(mén)開(kāi)關(guān);步驟150、取出被阻塞的所述過(guò)濾器。若過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過(guò)濾器的閥門(mén),因此,步驟140還可以包括:若所述過(guò)濾器包括多個(gè)并列排布的子過(guò)濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過(guò)濾器的管道上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)。在上述實(shí)施例中,對(duì)各個(gè)實(shí)施例的描述都各有側(cè)重,某個(gè)實(shí)施例中沒(méi)有詳述的部分,可以參見(jiàn)其他實(shí)施例的相關(guān)描述。以上對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)介紹,本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本申請(qǐng)的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述,以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本申請(qǐng)的技術(shù)方案及其**思想。銅陵剝離液推薦廠(chǎng)家蘇州性?xún)r(jià)比高的剝離液。
其包含含有鉀鹽的第1液、和含有溶纖劑的第2液。再者,本發(fā)明涉及印刷布線(xiàn)板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線(xiàn)框的制造方法,其特征在于,在包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線(xiàn)板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線(xiàn)框的制造方法中,使用上述抗蝕劑的剝離液進(jìn)行抗蝕劑的除去。發(fā)明效果本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液即使是微細(xì)的布線(xiàn)間的抗蝕劑也能細(xì)小地粉碎。因此,本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液適合于包括從施加有抗蝕劑的基材除去抗蝕劑的工序的印刷布線(xiàn)板、半導(dǎo)體基板、平板顯示器或引線(xiàn)框的制造方法。具體實(shí)施方式本發(fā)明的抗蝕劑的剝離液(以下,稱(chēng)為“本發(fā)明剝離液”)含有氫氧化鉀和溶纖劑。本發(fā)明剝離液中的鉀鹽沒(méi)有特別限定,例如,可以舉出氫氧化鉀、碳酸鉀等。需要說(shuō)明的是,鉀鹽中不含相當(dāng)于后述的硅酸鹽的硅酸鉀。這些之中推薦氫氧化鉀。另外,本發(fā)明剝離液中的鉀鹽的含量沒(méi)有特別限定,例如,推薦,更推薦,特別推薦。本發(fā)明剝離液中使用的溶纖劑是指乙二醇的醚類(lèi),例如,可以舉出異丙基溶纖劑、丁基溶纖劑、二甲基溶纖劑、苯基丁基溶纖劑、甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、苯基溶纖劑、芐基溶纖劑、卡必醇溶纖劑、二乙基溶纖劑等。這些之中推薦異丙基溶纖劑。另外。
本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法。背景技術(shù):剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同時(shí),沉積在光阻上的膜層也被剝離,從而完成膜層的圖形化,通過(guò)該制程可以實(shí)現(xiàn)兩次光刻合并為一次以達(dá)到光罩縮減的目的?,F(xiàn)有技術(shù)中,由于光阻上沉積了薄膜(該薄膜材料可以為金屬,ito(氧化銦錫)等用于制備tft的膜層),在剝離光阻的同時(shí)薄膜碎屑被帶入剝離液(stripper)中,大量的薄膜碎屑將會(huì)導(dǎo)致剝離液機(jī)臺(tái)中的過(guò)濾器(filter)堵塞,從而導(dǎo)致機(jī)臺(tái)無(wú)法使用,并且需要停止所有剝離液機(jī)臺(tái)的工作,待將filter清理后再次啟動(dòng),降低了生產(chǎn)效率。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)及其工作方法,可以提高生產(chǎn)效率。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái),包括:依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱;過(guò)濾器,所述過(guò)濾器的一端設(shè)置通過(guò)***管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,所述過(guò)濾器的另一端通過(guò)第二管道與下一級(jí)腔室連接;其中,至少在所述***管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門(mén)開(kāi)關(guān)。在一些實(shí)施例中。哪家的剝離液性?xún)r(jià)比比較高?
隨著國(guó)內(nèi)電子制造產(chǎn)業(yè)和光電產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,光刻膠剝離液等電子化學(xué)品的使用量也大為増加。特別是縱觀(guān)近幾年度的光電行業(yè),風(fēng)靡全球的智能手持設(shè)備、移動(dòng)終端等簡(jiǎn)直成為了光電行業(yè)的風(fēng)向標(biāo):與之相關(guān)的光電領(lǐng)域得到了飛速的發(fā)展,鏡頭模組、濾光片、LTPS液晶顯示面板、觸摸屏幕、傳感器件等等。而光電行業(yè)的其他領(lǐng)域,雖然也有增長(zhǎng),但是遠(yuǎn)不及與智能手持設(shè)備相關(guān)的光電領(lǐng)域。工業(yè)上所使用的剝離液主要是有機(jī)胺和極性有機(jī)溶劑的組合物,通過(guò)溶脹和溶解方式剝離除去光刻膠。上述有機(jī)胺可包括單乙醇胺(MEA),二甲基乙酰胺(DMAC), N-甲基甲酰胺(NMF),N-甲基ニ乙醇胺(MDEA)等。上述極性有機(jī)溶劑可包括二乙二醇甲醚(DGME),二乙二醇單丁醚(BDG),二甲亞砜(DMS0),羥乙基哌嗪(NEP)等。由于LCD液晶屏具有體積小、質(zhì)量輕、清晰度高、圖像色彩好等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中,按目前使用的液晶電視、電腦顯示屏等生命周期為6-8年計(jì)算,未來(lái)隨著年代的更替,LCD的生產(chǎn)量液將會(huì)增加,從而導(dǎo)致剝離液的使用量也大量增加,剝離液大量使用的同時(shí)也產(chǎn)生大量剝離液廢液。剝離液廢液中除了含有少量高分子樹(shù)脂和光敏劑外,剝離液使用時(shí)要注意什么?蘇州什么剝離液生產(chǎn)
剝離液適用于哪些行業(yè)。無(wú)錫鋁鉬鋁蝕刻液剝離液銷(xiāo)售廠(chǎng)家
隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)的進(jìn)一步發(fā)展,人們對(duì)高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液的需求將進(jìn)一步上升,電子與信息化學(xué)品、表面工程化學(xué)品、醫(yī)藥化學(xué)品等將得到進(jìn)一步的發(fā)展,全球范圍內(nèi)精細(xì)化學(xué)品市場(chǎng)規(guī)模將保持高于傳統(tǒng)化工行業(yè)的速度飛速增長(zhǎng)。新興的生產(chǎn)型市場(chǎng)對(duì)精細(xì)化工產(chǎn)品的需求為中國(guó)化工產(chǎn)品開(kāi)辟新的國(guó)際市場(chǎng),以異丙胺為例,作為中國(guó)大陸生產(chǎn)的低碳脂肪胺中進(jìn)出口貿(mào)易量較大的產(chǎn)品,主要的出口目的地是東南亞地區(qū)、南美和大洋洲,如東南亞地區(qū)的馬來(lái)西亞、印度、印度尼西亞、泰國(guó)等,南美的巴西和阿根廷等,大洋洲的澳大利亞、新西蘭,以及中國(guó)臺(tái)灣省,這些地區(qū)對(duì)其進(jìn)口均沒(méi)有限制。隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的穩(wěn)定增長(zhǎng)、工業(yè)化及信息化進(jìn)程的不斷深入、銷(xiāo)售企業(yè)結(jié)構(gòu)的調(diào)整升級(jí),尤其是我國(guó)對(duì)精細(xì)化工行業(yè)的高度重視,2020年我國(guó)精細(xì)化工行業(yè)將迎來(lái)良好機(jī)遇和廣闊空間。隨著我國(guó)環(huán)境保護(hù)政策、安全生產(chǎn)政策和職工福利政策的日益完善,以及美歐等發(fā)達(dá)家對(duì)精細(xì)化學(xué)品中間體進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)的日益嚴(yán)格,精細(xì)化工中間體行業(yè)的準(zhǔn)入門(mén)檻越來(lái)越高,這些都需要精細(xì)化工中間體生產(chǎn)商在環(huán)保、安全、產(chǎn)品研發(fā)和經(jīng)營(yíng)規(guī)模等方面進(jìn)行較大的加入,導(dǎo)致其初始及持續(xù)加入不斷攀升。無(wú)錫鋁鉬鋁蝕刻液剝離液銷(xiāo)售廠(chǎng)家
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司在高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液一直在同行業(yè)中處于較強(qiáng)地位,無(wú)論是產(chǎn)品還是服務(wù),其高水平的能力始終貫穿于其中。博洋化學(xué)是我國(guó)精細(xì)化學(xué)品技術(shù)的研究和標(biāo)準(zhǔn)制定的重要參與者和貢獻(xiàn)者。公司承擔(dān)并建設(shè)完成精細(xì)化學(xué)品多項(xiàng)重點(diǎn)項(xiàng)目,取得了明顯的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益。多年來(lái),已經(jīng)為我國(guó)精細(xì)化學(xué)品行業(yè)生產(chǎn)、經(jīng)濟(jì)等的發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。