濕電子化學品位于電子信息產業(yè)偏中上游的材料領域。濕電子化學品上游是基 礎化工產品,下游是電子信息產業(yè)(信息通訊、消費電子、家用電器、汽車電子、 LED、平板顯示、太陽能電池、**等領域)。濕電子化學品的生產工藝主要采用物 理的提純技術及混配技術,將工業(yè)級的化工原料提純?yōu)槌瑑舾呒兓瘜W試劑,并按照 特定的配方混配為具有特定功能性的化學試劑。濕電子化學品行業(yè)是精細化工和電 子信息行業(yè)交叉的領域,其行業(yè)特色充分融入了兩大行業(yè)的自身特點,具有品種多、 質量要求高、對環(huán)境潔凈度要求苛刻、產品更新?lián)Q代快、產品附加值高、資金投入 量大等特點,是化工領域相當有發(fā)展前景的領域之一。如何挑選一款適合自己公司的剝離液?池州半導體剝離液訂做價格
技術領域:本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法,可用于微納制造,光學領域,電學,生物領域,mems領域,nems領域。技術背景:微納制造技術是衡量一個國家制造水平的重要標志,對提高人們的生活水平,促進產業(yè)發(fā)展與經濟增長,保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用,微納制造技術是微傳感器、微執(zhí)行器、微結構和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎?;诎雽w制造工藝的光刻技術是**常用的手段之一。對于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結構,再通過金屬的沉積和溶膠實現(xiàn)圖形反轉從而得到所需要的納米孔。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應等會造成曝光后的微納結構側壁呈現(xiàn)一定的角度(如正梯形截面),這會造成蒸發(fā)過程中的掛壁嚴重從而使lift-off困難。同時由于我們常用的高分辨的負膠如hsq,在去膠的過程中需要用到危險的氫氟酸,而氫氟酸常常會腐蝕石英,氧化硅等襯底從而影響器件性能,特別的,對于跨尺度高精度納米結構的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰(zhàn)。技術實現(xiàn)要素::為了克服上述技術問題,本發(fā)明公開了一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法?;葜軧OE蝕刻液剝離液產品介紹上海和輝光電用的哪家的剝離液?
具體實施方式現(xiàn)有技術中剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質,而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,或者回收后需要通過大量的時間分析其含量以及花大量時間進行再生處理,影響了剝離液廢液的利用率。本發(fā)明對于已知的剝離液的含量以及比例有預先的了解,通過預先制定添加劑的方法,將添加劑以及某些原材料加入后重新制備剝離液新液。本發(fā)明中對于回收的剝離液廢液的進一步處理加工,是采用現(xiàn)有技術中加壓、蒸餾等方式,可以是采用階段性變壓精餾塔進行加壓、蒸餾處理。表1:已知的剝離液新液的組分:表二:添加劑的組分組分比例:純化液體的組分表四:制備剝離液新液在對純化液體進行加工處理,重新制備剝離液新液的過程中,需要預先制備添加劑,該添加劑中不含有酰胺化合物,而通過表四中可以得出,制備過程中在純化液體中加入添加劑以及nmf或bdg重新得出與表1組分相同的剝離液新液,該剝離液新液能夠達到表1中剝離液新液相同的成分以及相同或大致相同的技術效果。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業(yè)技術人員能夠實現(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的。
701、油墨放置箱;702、油墨加壓器;703、高壓噴頭;704、防濺射擋板;705、印刷輥;8、膠面剝離結構;801、收卷調速器;802、收卷驅動電機;803、輥固定架;804、膠水盛放箱;805、點膠頭;806、卷邊輥;807、膠面收卷輥;9、電加熱箱;10、熱風噴頭;11、干燥度感應器;12、電氣控制箱;13、液晶操作面板。具體實施方式下面結合附圖對本**技術作進一步說明:如圖1-圖4所示,一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,包括主支撐架1、橫向支架2、伺服變頻電機3、電機減速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷結構7、膠面剝離結構8,所述主支撐架1上方設置有所述橫向支架2,所述橫向支架2上方設置有所述伺服變頻電機3,所述伺服變頻電機3上方設置有所述電機減速箱4,所述電機減速箱4上方安裝有印刷品傳送帶5,所述印刷品傳送帶5一側安裝有所述印刷品放置箱6,所述印刷品放置箱6一側安裝有所述表面印刷結構7,所述表面印刷結構7上方設置有油墨放置箱701,所述油墨放置箱701下方安裝有油墨加壓器702,所述油墨加壓器702下方安裝有高壓噴頭703,所述高壓噴頭703一側安裝有防濺射擋板704,所述防濺射擋板704下方安裝有印刷輥705,所述表面印刷結構7一側安裝有所述膠面剝離結構8。天馬微電子用哪家剝離液更多?
采用此方法可以制備出負性光刻膠所能制備的任意結構,同時相比于傳統(tǒng)的加工,本方案加工效率可以提高上千倍,且圖形的結構越大相對的加工效率越高。本發(fā)明為微納制造領域,光學領域,電學領域,聲學領域,生物領域,mems制造,nems制造,集成電路等領域提供了一種新的有效的解決方案。附圖說明圖1為本發(fā)明制備用電子束在pmma上曝光出圓形陣列的輪廓;圖2為本發(fā)明用黏貼層撕走pmma輪廓以外的結構后得到的圓形柱狀陣列;圖3為實施例1步驟三的結構圖;圖4為實施例1步驟四的結構圖;圖5為實施例1步驟五的結構圖;圖6為實施例1步驟六的結構圖。具體實施方式為了使本發(fā)明的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚,下面將結合附圖對本發(fā)明作進一步詳細的描述。實施例1一種選擇性剝離光刻膠制備微納結構的方法,包括以下步驟:步驟一、提供襯底,并清洗;步驟二、使用十三氟正辛基硅烷利用高溫氣體修飾法對襯底進行修飾;步驟三、利用旋涂的方法在襯底上旋涂光刻膠pmma得到薄膜,如圖3。步驟四、在光刻膠上加工出所需結構的輪廓如圓形,如圖4所示。步驟五、在加工出結構輪廓的薄膜上面覆蓋一層黏貼層,如圖5。步驟六、揭開黏貼層及結構輪廓以外的薄膜,在襯底上留下輪廓內的微納尺度結構。銅剝離液的配方是什么?佛山銅鈦蝕刻液剝離液產品介紹
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在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請實施例提供的剝離液機臺的***種結構示意圖。圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結構示意圖。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結構示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺的第四種結構示意圖。圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。具體實施方式目前剝離液機臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機臺內的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進行剝離制程,使得機臺需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產效率。請參閱圖1,圖1為本申請實施例提供的過濾液機臺100的***種結構示意圖。本申請實施例提供一種剝離液機臺100,包括:依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應連接一存儲箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設置通過***管道40與當前級腔室101對應的存儲箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接;其中,至少在***管道40或所述第二管道50上設置有閥門開關60。具體的,圖1所示出的是閥門開關60設置在***管道40上的示例圖。池州半導體剝離液訂做價格
蘇州博洋化學股份有限公司是一家從事高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液研發(fā)、生產、銷售及售后的生產型企業(yè)。公司坐落在高新區(qū)華橋路155號,成立于1999-10-25。公司通過創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念,以客戶滿意為重要標準。主要經營高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液等產品服務,現(xiàn)在公司擁有一支經驗豐富的研發(fā)設計團隊,對于產品研發(fā)和生產要求極為嚴格,完全按照行業(yè)標準研發(fā)和生產。蘇州博洋化學股份有限公司每年將部分收入投入到高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液產品開發(fā)工作中,也為公司的技術創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動作用。公司在長期的生產運營中形成了一套完善的科技激勵政策,以激勵在技術研發(fā)、產品改進等。高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液產品滿足客戶多方面的使用要求,讓客戶買的放心,用的稱心,產品定位以經濟實用為重心,公司真誠期待與您合作,相信有了您的支持我們會以昂揚的姿態(tài)不斷前進、進步。