當前級別腔室101對應的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過閥門開關(guān)60關(guān)閉當前級別腔室101對應的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通,從而可以在閥門開關(guān)60關(guān)閉后取下被阻塞的過濾器30進行清理并不會導致之后的下一級腔室102的剝離進程無法繼續(xù)。其中,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級向玻璃基板分別提供剝離液;與多個腔室10分別對應連接的多個存儲箱20,各級腔室10分別通過管道與相應的存儲箱20連接,存儲箱20用于收集和存儲來自當前級腔室101的經(jīng)歷剝離制程的剝離液;過濾器30用于過濾來自當前級腔室101的存儲箱20的剝離液,并且過濾器30還可以通過管道與下一級腔室102連接,從而過濾器30可以將過濾后的剝離液輸送給下一級腔室102。各腔室10設計為適合進行剝離制程,用于向制程中的玻璃基板供給剝離液,具體結(jié)構(gòu)可參考現(xiàn)有設計在此不再贅述。各級腔室10分別于相應的存儲箱20通過管道連接,腔室10中經(jīng)歷剝離制程后的剝離液可以經(jīng)管道輸送至存儲箱20中,由存儲箱20來收集和存儲。各級腔室10的存儲箱20分別與相應的過濾器30通過管道連接,經(jīng)存儲箱20處理后的剝離液再經(jīng)相應的過濾器30過濾后才經(jīng)管道輸送至下一級腔室102。 剝離液分為溶劑型和水系兩種類別;南京銀蝕刻液剝離液銷售公司
每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級腔室102連通。其中,閥門開關(guān)60設置在每一子管道301上。在一些實施例中,閥門開關(guān)60設置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實施例中,閥門開關(guān)60設置在每一第二子管道502上。具體的,閥門開關(guān)60的設置位置可以設置在連接過濾器30的任意管道上,在此不做贅述。在一些實施例中,請參閱圖4,圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。第二管道50包括多個第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,且每一所述第三子管道503與所述下一級腔室連通102。其中,閥門開關(guān)60設置在每一第三子管道503上。本申請實施例提供的剝離液機臺,包括:依次順序排列的多級腔室、每一級所述腔室對應連接一存儲箱;過濾器,所述過濾器的一端設置通過管道與當前級腔室對應的存儲箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級腔室連接;其中,至少在管道或所述第二管道上設置有閥門開關(guān)。通過閥門開關(guān)控制連接每一級腔室的過濾器相互獨立,從而在過濾器被阻塞時通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進程,提高生產(chǎn)效率。 池州ITO蝕刻液剝離液銷售公司剝離液公司的聯(lián)系方式。
單片清洗工藝避免了不同硅片之間相互污染,降低了產(chǎn)品缺陷,提高了產(chǎn)品良率??蛇x擇的,清洗液采用氧化硫磺混合物溶液和過氧化氨混合物溶液??蛇x的,進一步改進,清洗液采用h2so4:h2o2配比范圍為6:1~4:1且溫度范圍為110℃~140℃的過氧化硫磺混合物溶液;以及,nh4oh:h2o2:h2o配比為1:℃~70℃的過氧化氨混合物溶液。本發(fā)明采用等離子體氮氫混合氣體能與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應生成含氨揮發(fā)性化合物氣體,且與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應速率相等能更高效的剝離去除光刻膠,能有效減少光刻膠殘留。進而避免由于光刻膠殘留造成對后續(xù)工藝的影響,提高產(chǎn)品良率。附圖說明本發(fā)明附圖旨在示出根據(jù)本發(fā)明的特定示例性實施例中所使用的方法、結(jié)構(gòu)和/或材料的一般特性,對說明書中的描述進行補充。然而,本發(fā)明附圖是未按比例繪制的示意圖,因而可能未能夠準確反映任何所給出的實施例的精確結(jié)構(gòu)或性能特點,本發(fā)明附圖不應當被解釋為限定或限制由根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例所涵蓋的數(shù)值或?qū)傩缘姆秶O旅娼Y(jié)合附圖與具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細的說明:圖1是本發(fā)明的流程示意圖。圖2是一現(xiàn)有技術(shù)光刻膠剝離去除示意圖一,其顯示襯底上形成介質(zhì)層并旋圖光刻膠。
按照組成成分和應用工藝不同,濕電子化學品可分為通用性和功能性濕電子化學品。通用濕電子化學品以超凈高純試劑為主,一般為單組份、單功能、被大量使用的液體化學品,按照性質(zhì)劃分可分為:酸類、堿類、有機溶劑類和其他類。酸類包括氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸等;堿類包括氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀等;有機溶劑類包括甲醇、乙醇、異丙醇、**、乙酸乙酯等;其他類包括雙氧水等。功能濕電子化學品指通過復配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復配類化學品,即在單一的超凈高純試劑(或多種超凈高純試劑的配合)基礎上,加入水、有機溶劑、螯合劑、表面活性劑混合而成的化學品。例如剝離液、顯影液、蝕刻液、清洗液等。由于多數(shù)功能濕電子化學品是復配的化學品,是混合物,它的理化指標很難通過普通儀器定量檢測,只能通過應用手段來評價其有效性。 哪家公司的剝離液的是口碑推薦?
該方法包括:步驟110、將多級腔室順序排列,按照處于剝離制程的剝離基板的傳送方向逐級向剝離基板提供剝離液;步驟120、將來自于當前級腔室經(jīng)歷剝離制程的剝離液收集和存儲于當前級腔室相應的存儲箱中,所述剝離液中夾雜有薄膜碎屑;步驟130、使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;步驟140、若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關(guān)閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關(guān);步驟150、取出被阻塞的所述過濾器。若過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則可以關(guān)閉被阻塞的子過濾器的閥門,因此,步驟140還可以包括:若所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,則關(guān)閉連接被阻塞的所述子過濾器的管道上的閥門開關(guān)。在上述實施例中,對各個實施例的描述都各有側(cè)重,某個實施例中沒有詳述的部分,可以參見其他實施例的相關(guān)描述。以上對本申請實施例進行了詳細介紹,本文中應用了具體個例對本申請的原理及實施方式進行了闡述,以上實施例的說明只是用于幫助理解本申請的技術(shù)方案及其思想;本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換。剝離液蝕刻后如何判斷好壞 ?廣東鋁鉬鋁蝕刻液剝離液按需定制
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所述的鏈胺為乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、異丙醇胺、甲基二乙醇胺、amp-95中的任意一種或多種。技術(shù)方案中,所述的環(huán)胺為氨乙基哌嗪、羥乙基哌嗪、氨乙基嗎啉中的任意一種或多種。技術(shù)方案中,所述的緩蝕劑為三唑類物質(zhì)。的技術(shù)方案中,所述的緩蝕劑為苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑中的任意一種。技術(shù)方案中,所述的潤濕劑含有羥基。技術(shù)方案中,所述的潤濕劑為聚乙二醇、甘油中的任意一種。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中加入環(huán)胺與鏈胺,能夠滲透、斷開光刻膠分子間弱結(jié)合力,能夠快速、有效地溶解光刻膠,而配方中加入潤濕劑,能夠有效地減少接觸角,增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。附圖說明:圖1為配方一和配方二的剝離液滴落在平面時兩者的接觸角對比圖。圖2為配方一和配方二的剝離液應用是光刻膠的殘留量對比圖。具體實施方式現(xiàn)有技術(shù)中的剝離液其水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留,本申請經(jīng)過大量的試驗,創(chuàng)造性的發(fā)現(xiàn),在剝離液中加入潤濕劑,能夠使固體物料(高世代面板)更易被水浸濕的物質(zhì),通過降低其表面張力或界面張力,使水能展開在固體物料。南京銀蝕刻液剝離液銷售公司