本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,來改善磷酸的浸潤性和表面張力,使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù):氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中,一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻,一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,器件的特征尺寸越來越小,集成度越來越高,對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來越高,如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí),晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測量時(shí),檢測點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,所述蝕刻液的組成包括:占蝕刻液總重量≥88%的磷酸、%的醇醚類、%的表面活性劑。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液。BOE蝕刻液的主要成分是什么?江西如何發(fā)展BOE蝕刻液價(jià)格
本實(shí)用新型屬于廢液處理領(lǐng)域,尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)。背景技術(shù):酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內(nèi)層制作的蝕刻液,隨著電路板行業(yè)的迅速發(fā)展,產(chǎn)生的廢液量越來越大,發(fā)掘的污染物種類也越來越多,對(duì)環(huán)境造成巨大的危害,此類問題也成為社會(huì)的重要課題。為了減少甚至杜絕此類污染的發(fā)生,我們需要對(duì)酸性蝕刻液進(jìn)行回收循環(huán)利用。目前對(duì)于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學(xué)或電化學(xué)的方法,但傳統(tǒng)的方法廢液中總銅的含量不斷增大,比重增加,必須排掉一部分廢液或者補(bǔ)加子液和水來控制參數(shù),這樣污染大,影響環(huán)境,而且還會(huì)造成銅和酸的浪費(fèi)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題為如何通過簡單、低成本的技術(shù)實(shí)現(xiàn)種酸性蝕刻液電解后廢液的再生利用。為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的,一種酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),包括:電解槽,具有一出液口和出氣口,且內(nèi)置有酸性蝕刻液,用于對(duì)所述酸性蝕刻液進(jìn)行電解提銅,產(chǎn)生氯氣,得到電解后液;再生液調(diào)配缸,具有進(jìn)液口和循環(huán)出液口,所述進(jìn)液口通過管道與所述電解槽的出液口連接以接收電解后液;射流器,其進(jìn)氣口通過導(dǎo)氣管與所述電解槽的出氣口連接以接收所述氯氣。上海無機(jī)BOE蝕刻液推薦廠家來蘇州,來博洋,BOE蝕刻液專業(yè)廠商。
EN10029yEN10029AC).2.aSobrelongitudes:+1/.aSobrecapacidadnominal:+3/ónovalización:semidelaovalizaciónantesydespuésdelllenadodeagua,quedándoselosdepósitosdecomunicacióó)ándeformavisualtodaslassoldadurasdetodoslosdepóón,esimprescindibleunapruebadepresió)ímitesindicadosacontinuación:1.oDesnivelodefectodealineación:soldaduraslongitudinales:1milímetro;soldadurascirculares:2milí.oPuntodeinflexiónlocal:h/l≤1/53.oFaltadeespesordesoldadura:0milí.oSobreespesordesoldaduras:1milímetro≤S≤L/10+2milí.oGrietasofisuras,sopladuraseinclusionesdesembocandoensuperficie:.oMordeduras:profundidadmáxima,0,5milímetros;longitudmáxima,40milíínimadezonasanaparaqueestosdosdefectosseconsiderencomoaisladosesdeseisveceslalongituddeldefectomááprohibidosanearunpuntodefugaounafaltadematerialdeaportaciónconeldepó)Examensoldadurasdeáángulotendránunaalturadegarganta,comomínimode0,7veceselespesordelamáóósitosesometeráaunapruebadepresiónde0。
除去75重量%的油。在45°C下的簡單加熱、或者在環(huán)境溫度(20°C)下的簡單攪拌或超聲應(yīng)用可以除去所有的沉積油。此外,沒有觀察到油的溶解,而是觀察到上升到液體表面的油的脫離(卷起機(jī)理(rollingupmechanism)).與快速導(dǎo)致溶劑飽和的溶解機(jī)理相比,該卷起機(jī)理更為有利。油溶解試驗(yàn)的總體過程將硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待評(píng)價(jià)組合物中,并測定在環(huán)境溫度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相對(duì)于該混合物的百分?jǐn)?shù)表示)。實(shí)施例5在使用%的九氟丁基乙基醚和%的甲基四氫呋喃的共沸組合物的情況下,溶解超過17重量%的油。實(shí)施例6在使用九氟丁基乙基醚的情況下,多溶解2重量%的油并且觀察到反混合(demixing)。權(quán)利要求組合物,其包含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F9OR的九氟丁基烷基醚,在式C4F9OR中,R具有1~4個(gè)碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。2.權(quán)利要求1的組合物,特征在于,所述組合物包含540重量%的甲基四氫呋喃和6095重量%的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。3.權(quán)利要求1或2的組合物,特征在于,所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。4.權(quán)利要求13中任一項(xiàng)的組合物,特征在于。哪家的BOE蝕刻液配方比較好?
soldaduraytécnicasafines)ósitosdelosEstadosmiembrosdelaCEEodepaísestercerosconlosqueexistaunconveniodereciprocidad,lahomologacióndelosprocedimientosdesoldaduraycualificacióndesoldadorespodrárealizarseporunOrganismodecontrololaboratoriodeensayooficialmentereconocidosatalefectoenalgúnEstadodelaCEE,siemprequeofrezcangarantíastécnicas,profesionalesydeindependenciaequivalentesalasexigidasporlalegislaciónespa?índricaconlosfondosserácomomínimode50milímetrosparadepóínimadelapesta?arectaparasersoldadaalaenvolventecilíndricaserácomomíándeunapiezahastaundiámetrodemilíámetrossuperiores,seadmiteunaúóón,laovalizaciónesladiferenciaentreeldiámetromáximoyeldiámetromínimo-enunamismaseccióntransversalmedidoslomáspróximoalcentro-,divididaporeldiáósitovacíoydescansadosobreunasuperficieplana,yesemismodepósitollenoyencomunicaciónconelairelibresobrepasanelvalordel2por100,ónprescrito。歡迎光臨蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。河南如何發(fā)展BOE蝕刻液廠家現(xiàn)貨
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