并控制磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11每間隔20s旋轉(zhuǎn)10s，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)后，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)10s，以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中，控制部件在脈沖工作模式下，實(shí)現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。還需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例中，在減薄的過程中，可以不斷更換磁轉(zhuǎn)子12，如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時(shí)后，將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。此外，本發(fā)明實(shí)施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對(duì)待加工部件20進(jìn)行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮?dú)獯蹈伞Ｖ?，將清洗后的待加工部?0和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動(dòng)分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種拋光減薄方法，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上，待加工部件包括inp基晶圓；可選地。高效去除涂層，減薄用清洗劑讓您的生產(chǎn)更順暢。臺(tái)州什么是減薄用清洗劑銷售電話

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選擇減薄用清洗劑的注意事項(xiàng)：與被清洗材料的兼容性確保清洗劑不會(huì)對(duì)被清洗材料產(chǎn)生腐蝕、溶解、變色等不良影響。在選擇清洗劑之前，比較好進(jìn)行小樣試驗(yàn)，以確定其適用性。清洗效果根據(jù)被清洗材料的表面狀況和雜質(zhì)類型，選擇具有良好清洗效果的清洗劑?？梢詤⒖记逑磩┑漠a(chǎn)品說明書、用戶評(píng)價(jià)等信息，了解其清洗能力。安全性考慮清洗劑的安全性，包括對(duì)人體的危害、易燃易爆性、毒性等。選擇安全可靠的清洗劑，并在使用過程中采取必要的防護(hù)措施。環(huán)保性盡量選擇環(huán)保型清洗劑，減少對(duì)環(huán)境的污染。關(guān)注清洗劑的生物降解性、揮發(fā)性有機(jī)物含量等環(huán)保指標(biāo)。成本效益綜合考慮清洗劑的價(jià)格、使用壽命、清洗效率等因素，選擇成本效益高的清洗劑。去除多余涂層，減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。紹興國(guó)產(chǎn)減薄用清洗劑產(chǎn)品介紹

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