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廣東微流控芯片圖片02.28微流控芯片的硅質(zhì)材料加工工藝：是在硅材料的加工中，光刻(lithography)和濕法刻蝕(wetetching)技術(shù)是2種常規(guī)工藝。由于硅材料具有良好的光潔度和很成熟的加工工藝，主要用于加工微泵、微...
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北京微流控技術(shù)和微流控芯片02.28美國圣母大學(xué)(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士與微生物學(xué)家和免疫檢測professor合作研究，提高了微流控分析設(shè)備檢測細胞和生物分子的速度和靈...
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山西微流控技術(shù)和微流控芯片02.27微流控芯片的原理：微流控芯片基于微流體力學(xué)原理，通過對微尺度通道內(nèi)流體的操控，實現(xiàn)對微小流體的混合、分離、傳輸和操控。微流控芯片的操作通常通過控制微閥門、微泵等來調(diào)節(jié)流體的壓力、流速和流量，從而實...
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新疆MEMS微納米加工的微流控芯片02.27MEMS四種刻蝕工藝的不同需求： 3.絕緣層上的硅蝕刻即SOI器件刻蝕：先進的微機電組件包含精細的可移動性零組件，例如應(yīng)用于加速計、陀螺儀、偏斜透鏡(tilting mirrors).共振器...
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什么是MEMS微納米加工圖片02.26MEMS制作工藝-太赫茲超導(dǎo)混頻陣列的MEMS體硅集成天線與封裝技術(shù)： 太赫茲波是天文探測領(lǐng)域的重要波段，太赫茲波探測對提升人類認知宇宙的能力有重要意義。太赫茲超導(dǎo)混頻接收機是具有代表性...
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發(fā)展MEMS微納米加工之超表面制作02.25
MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測： 光電導(dǎo)取樣光電導(dǎo)取樣是基于光導(dǎo)天線(photoconductiveantenna,PCA)發(fā)射機理的逆過程發(fā)展起來的一種探測THz脈沖信號的探測技術(shù)。...
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現(xiàn)代化MEMS微納米加工材料02.25MEMS四種刻蝕工藝的不同需求： 高深寬比：硅蝕刻工藝通常需要處理高深寬比的問題，如應(yīng)用在回轉(zhuǎn)儀(gyroscopes)及硬盤機的讀取頭等微機電組件即為此例。另外，此高深寬比的特性也是發(fā)展下...
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河南有什么MEMS微納米加工02.24駕駛輔助系統(tǒng)升級帶動MEMS＆傳感器價值提升。自動駕駛已成大趨勢，環(huán)境信息的感知是實現(xiàn)自動駕駛的基礎(chǔ)，越高級別的自動駕駛對信息感知能力的需求越高，對應(yīng)的MEMS＆傳感器用量和價值量也會相應(yīng)提升。根據(jù)N...
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MEMSMEMS微納米加工之PI柔性器件02.24MEMS制作工藝柔性電子： 柔性電子（Flexible Electronics）是一種技術(shù)的通稱，是將有機/無機材料電子器件制作在柔性/可延性基板上的新興電子技術(shù)。相對于傳統(tǒng)電子，柔性電子具...
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山西多功能MEMS微納米加工02.23通過MEMS技術(shù)制作的生物傳感器，圍繞細胞分選檢測、生物分子檢測、人工聽覺微系統(tǒng)等方向，突破了高通量細胞圖形化、片上細胞聚焦分選、耳蝸內(nèi)聲電混合刺激、高時空分辨率相位差分檢測等一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的關(guān)...
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北京MEMS微納米加工之柔性電極定制02.22高精度姿態(tài)/軌道測量新方法并研制了MEMS磁敏感器、MIMU慣性微系統(tǒng)、MEMS太陽敏感器、納\皮型星敏感器等空間微系統(tǒng)，相關(guān)成果填補了多項國內(nèi)空白，已在探月工程、高分專項等國家重大工程以及國內(nèi)外百余...
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四川多功能MEMS微納米加工02.22
MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測： 光電導(dǎo)取樣光電導(dǎo)取樣是基于光導(dǎo)天線(photoconductiveantenna,PCA)發(fā)射機理的逆過程發(fā)展起來的一種探測THz脈沖信號的探測技術(shù)。...