3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。潔凈室缺陷整改需執(zhí)行CAPA（糾正與預(yù)防措施）流程。江蘇噪音潔凈室檢測范圍

潔凈室空氣潔凈度等級劃分與檢測標準潔凈室的空氣潔凈度等級依據(jù)ISO 14644-1標準，按每立方米空氣中粒徑≥0.1μm至≥5μm的顆粒物濃度劃分（如ISO Class 1級要求≥0.1μm粒子數(shù)≤10個）。檢測時需使用激光粒子計數(shù)器在靜態(tài)和動態(tài)條件下分別采樣，采樣點需均勻分布于工作高度（0.8-1.5米）。例如，某半導(dǎo)體晶圓廠因未在動態(tài)環(huán)境下檢測，導(dǎo)致實際生產(chǎn)時懸浮粒子超標，造成整批晶圓報廢。檢測時還需注意采樣流量與房間換氣次數(shù)的匹配（如ISO 5級房間換氣次數(shù)需≥250次/小時），并避開氣流干擾區(qū)域。建議企業(yè)建立潔凈度實時監(jiān)測系統(tǒng)，結(jié)合大數(shù)據(jù)分析預(yù)測污染趨勢。江蘇手術(shù)室潔凈室檢測目的有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。

10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi)。當潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè)。周圍振源對精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個振源振動的疊加結(jié)果。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實用的計算方法。因此，應(yīng)立足于實測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗帶來很大困難，這說明實測振源振動影響是非常必要的。斷截面上風速一致，有垂直單向潔凈室，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

D.3.10自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數(shù)器進行檢測，同時應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度（N。）。然后開機，方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度（N）、實際換氣次數(shù)(n)，可得到計算自凈時間(to），與實測自凈時間(t)進行對比，如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效（亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近。浙江實驗室環(huán)境潔凈室檢測值得推薦

可燃氣體管道、氧氣管道的末端或極高點均應(yīng)設(shè)置放散管。江蘇噪音潔凈室檢測范圍

9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)；潔凈室（區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室（區(qū)）墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。9.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。江蘇噪音潔凈室檢測范圍