氣流模式可視化與層流驗(yàn)證技術(shù)層流潔凈室需驗(yàn)證單向氣流的均勻性和穩(wěn)定性，常用示蹤線法、粒子圖像測(cè)速技術(shù)（PIV）或煙霧測(cè)試。例如，ISO Class 5級(jí)層流罩需確保風(fēng)速在0.45±0.1 m/s范圍內(nèi)，且無渦流或死角。某半導(dǎo)體廠因?qū)恿髡诛L(fēng)速不均導(dǎo)致晶圓污染，后通過調(diào)整風(fēng)機(jī)頻率和導(dǎo)流板角度解決問題。氣流可視化檢測(cè)還需評(píng)估開門瞬間的氣流擾動(dòng)，采用粒子計(jì)數(shù)器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)粒子濃度恢復(fù)時(shí)間。FDA要求動(dòng)態(tài)條件下驗(yàn)證氣流模式，例如模擬人員走動(dòng)或設(shè)備移動(dòng)時(shí)的干擾。此外，回風(fēng)口的位置和數(shù)量需根據(jù)房間布局優(yōu)化，避免形成低速區(qū)或逆流。設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效（亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近。上海照度潔凈室檢測(cè)流程

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。北京純化水檢測(cè)潔凈室檢測(cè)報(bào)告層流罩風(fēng)速需穩(wěn)定在0.45±0.1m/s，避免氣流死角。

6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。6.1.6設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房，技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動(dòng)力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井。技術(shù)豎井的形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對(duì)兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室（區(qū))的綜合性廠房，廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來不利影響。

D.3.2靜壓差測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí)，應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過濾器的整個(gè)面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。單向流潔凈室靠送風(fēng)氣流“活塞”般的擠壓作用，迅速把室內(nèi)污染排出。

8.2.1潔凈廠房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存和分配室時(shí)，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。消毒劑殘留檢測(cè)需結(jié)合中和劑消除假陽性結(jié)果。北京國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)目的

HEPA過濾器完整性測(cè)試需掃描檢漏，泄漏率≤0.01%。上海照度潔凈室檢測(cè)流程

7.4.5干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定；3冷凍水進(jìn)水溫度，宜高于潔凈室（區(qū))內(nèi)空氣的**溫度；4應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。7.4.6凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機(jī)組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1%；2整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強(qiáng)度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露；3布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運(yùn)行和維修；當(dāng)多套空氣處理機(jī)組為同一潔凈室（區(qū))服務(wù)時(shí)，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機(jī)組；送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。計(jì)算系統(tǒng)總阻力時(shí)，中效(高中效）、高效(亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值；5應(yīng)設(shè)置排水裝置。上海照度潔凈室檢測(cè)流程