4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。12.3.5潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警及消防聯(lián)動控制。控制設(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室（區(qū)）火災(zāi)報警應(yīng)進行核實，當(dāng)確認(rèn)火災(zāi)后，在消防控制室應(yīng)對下列各項進行手動控制：1關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機、排風(fēng)機和新風(fēng)機，并接收其反饋信號；2啟動排煙風(fēng)機，并接收其反饋信號；3.在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關(guān)部位的非消防電源?？諝鈶腋×Ｗ訚舛仁芸氐南薅臻g。實驗室環(huán)境無塵室檢測范圍

5.5.6在回、排風(fēng)口上安有高效過濾器的潔凈室及生物安全柜等裝備，在安裝前應(yīng)用現(xiàn)場檢漏裝置對高效過濾器掃描檢漏，并應(yīng)確認(rèn)無漏后安裝?；?、排風(fēng)口安裝后，對非零泄漏邊框密封結(jié)構(gòu)，應(yīng)再對其邊框掃描檢漏，并應(yīng)確認(rèn)無漏；當(dāng)無法對邊框掃描檢漏時，必須進行生物學(xué)等專門評價。5.5.7當(dāng)在回、排風(fēng)口上安裝動態(tài)氣流密封排風(fēng)裝置時，應(yīng)將正壓接管與接嘴牢靠連接，壓差表應(yīng)安裝于排風(fēng)裝置近旁目測高度處。排風(fēng)裝置中的高效過濾器應(yīng)在裝置外進行掃描檢漏，并應(yīng)確認(rèn)無漏后再安入裝置。安徽噪音無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)塵室通常采用高效的HEPA（高效顆?？諝猓┻^濾器或ULPA（超高效顆?？諝猓┻^濾器，可有效過濾微小的灰塵。

9.2.1純水系統(tǒng)的設(shè)備配置除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應(yīng)滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。9.2.2純水的制備、儲存和輸送設(shè)備,應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1純水的制備、終端處理設(shè)備的選型和制造材料的選擇,應(yīng)滿足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求;2純水儲罐、輸送設(shè)備的選型和制造材料的選擇,應(yīng)確保水質(zhì)污染少、密封性好,不得有滲氣現(xiàn)象;3純水制備、儲存、輸送設(shè)備應(yīng)有效地防止水質(zhì)降低。

4.3.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)少分隔，但下列情況應(yīng)予分隔：1按火災(zāi)危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時，應(yīng)設(shè)隔墻；2在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段或房間之間；3生產(chǎn)過程中排放影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害氣體或化學(xué)污染物的工序、設(shè)備，宜分隔設(shè)讀個房間。4.3.4潔凈廠房的布置應(yīng)綜合協(xié)調(diào)生產(chǎn)操作、設(shè)備安裝和維修、公用動力管線、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各類技術(shù)設(shè)施的的需要。單向流和非單向流組合的氣流。

11.2.1有風(fēng)機的凈化設(shè)備當(dāng)其風(fēng)機底座與箱體軟連接時，搬運時應(yīng)將底座架起固定，就位后放下。11.2.2凈化設(shè)備安裝應(yīng)在建筑內(nèi)部裝飾和凈化空調(diào)系統(tǒng)施工安裝完成，并進行***清掃、擦拭干凈之后進行，但與圍護結(jié)構(gòu)相連的設(shè)備或其排風(fēng)、排水管道必須與圍護結(jié)構(gòu)同時施工時，與圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)圓弧過渡，曲率半徑不應(yīng)小于30mm，連接縫應(yīng)采用密封措施，做到嚴(yán)密清潔。11.2.1有風(fēng)機的凈化設(shè)備當(dāng)其風(fēng)機底座與箱體軟連接時，搬運時應(yīng)將底座架起固定，就位后放下。11.2.2凈化設(shè)備安裝應(yīng)在建筑內(nèi)部裝飾和凈化空調(diào)系統(tǒng)施工安裝完成，并進行***清掃、擦拭干凈之后進行，但與圍護結(jié)構(gòu)相連的設(shè)備或其排風(fēng)、排水管道必須與圍護結(jié)構(gòu)同時施工時，與圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)圓弧過渡，曲率半徑不應(yīng)小于30mm，連接縫應(yīng)采用密封措施，做到嚴(yán)密清潔。由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測粒子等效的球體直徑。北京靜電無塵室檢測范圍

利用高速潔凈氣流吹落進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。實驗室環(huán)境無塵室檢測范圍

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室（區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機過濾器機組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。實驗室環(huán)境無塵室檢測范圍