5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規(guī)定著重于使?jié)崈魪S房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協(xié)調，使投資長期發(fā)揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能影響安全，而且還會破壞建筑裝修的完整性及圍護結構的氣密性，故須對主體結構采取相應措施。5.1.5對兼有一般生產和潔凈生產的綜合性廠房，在考慮其平面布局和構造處理時，應合理組織人流、物流運輸及消防疏散線路，避免一般生產對潔凈生產帶來不利的影響。當防火方面與潔凈生產要求有***時，應采取措施，在確保消防疏散的前提下，減少對潔凈生產的不利影響。潔凈室絕不僅于“潔凈”，而必須是一個對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合體。上海溫濕度潔凈室檢測頻率

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導致生產流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故，本條規(guī)定應設置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應低于正常照明照度標準的1/10。消防控制室、應急發(fā)電機室、配電室及電話機房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復設置，節(jié)省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。北京微生物潔凈室檢測周期在滿足生產工藝的條件下，管道系統(tǒng)應盡量短。

4.4.3~4.4.6控制設備噪聲首先要從聲源上考慮，設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術或經濟上的原因而難以做到時，則應從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。有些由于與生產聯系密切，必須置于潔凈區(qū)內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內現有潔凈廠房中，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間或技術夾道內，潔凈室內噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調系統(tǒng)和局部凈化設備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數等因素有關。但關鍵在于凈化空調系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設計方案必然導致較高的靜態(tài)噪聲。

隨著生產工藝對純水水質的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網設計是保證使用點水質的關鍵。實踐證明，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū)，以減少純水在管道內的停留時間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質量比較好的管道也會有微量物質溶出)對超純水水質的影響，同時，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應小于5Pa。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。安徽微生物潔凈室檢測頻率

管道系統(tǒng)應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。上海溫濕度潔凈室檢測頻率

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū))，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規(guī)定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置**的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應選用剛度適當的隔振器，3通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。上海溫濕度潔凈室檢測頻率