6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，構造和施工縫隙應采取密閉措施；2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設窗臺；4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構造。以前常稱為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。江蘇排風柜潔凈室檢測流程

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規(guī)定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構造、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求，并應方便操作和運送。上海半導體凈化車間潔凈室檢測規(guī)范性強潔凈室是指空氣潔凈度達到規(guī)定級別的可供人活動的空間。

5.2.2人員進出、材料出入、產(chǎn)品運送及設備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率，并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應充分考慮人員、物料設備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據(jù)潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級、人員數(shù)量、未來發(fā)展需求等確定。物料凈化設施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級等確定。

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū))，其建筑結(jié)構的微振動控制設計，應符合下列規(guī)定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置**的建筑結(jié)構微振動控制體系，并應與廠房主體結(jié)構分隔；3主體結(jié)構應根據(jù)微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應選用剛度適當?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產(chǎn)設備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層。潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定。上海壓差潔凈室檢測認真負責

潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施。江蘇排風柜潔凈室檢測流程

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應相近；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應根據(jù)環(huán)境條件設置化學過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室（區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4送風量應能調(diào)節(jié)；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。江蘇排風柜潔凈室檢測流程