9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。9.1.2純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)；潔凈室（區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室（區(qū)）墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。9.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。安徽風(fēng)速潔凈室檢測頻率

7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵，對給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格，如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴(yán)格，因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求，冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等），以便重點保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng)，也利于管理和節(jié)省運轉(zhuǎn)費用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè)，如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級換代快，生產(chǎn)工藝變化多。因此，在管道設(shè)計中應(yīng)留有充分的余量。北京潔凈室檢測方法負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。

8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設(shè)應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間。2干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。3易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道應(yīng)明敷。4當(dāng)易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風(fēng)措施。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。8.1.3工業(yè)管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。3應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。4管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。8.1.4工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。8.1.5可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或比較高點均應(yīng)設(shè)置放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m，并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施。

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險化學(xué)品儲存和分配室時，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。

C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目，對安裝的過濾器進(jìn)行檢漏。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測已獲得業(yè)主認(rèn)可，在緊接著的潔凈度項目檢測過程中，可進(jìn)行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時，宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并；過濾系統(tǒng)檢漏費時、費人力，整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數(shù)器（DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度，而離散粒子計數(shù)器是測量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑，2種方法獲得的結(jié)果不能進(jìn)行直接比較?？諝膺^濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡便、可靠，易于檢漏和更換。上海國內(nèi)潔凈室檢測流程

定期檢測潔凈度，確?？諝赓|(zhì)量的穩(wěn)定。安徽風(fēng)速潔凈室檢測頻率

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。安徽風(fēng)速潔凈室檢測頻率