1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。上海噪音潔凈室檢測服務(wù)商

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。浙江純化水檢測潔凈室檢測規(guī)范性強(qiáng)嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。

9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定。

10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時(shí)，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個(gè)室截面上通過的潔凈室。

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。定期檢測潔凈度，確?？諝赓|(zhì)量的穩(wěn)定。浙江潔凈度潔凈室檢測范圍

凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。上海噪音潔凈室檢測服務(wù)商

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。上海噪音潔凈室檢測服務(wù)商