5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速,以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品;以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn);微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展,使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此,電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要,從潔凈廠房的規(guī)劃開始,對(duì)于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。北京醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求,且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當(dāng)潔凈廠房設(shè)置外窗時(shí),應(yīng)采用雙層固定窗,并應(yīng)有良好的氣密性,同時(shí)應(yīng)采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室(區(qū))門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)滿足使用功能的要求,構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施;2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道,3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺(tái);4當(dāng)?shù)孛娌捎没顒?dòng)地板時(shí),活動(dòng)地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚,宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。北京照度潔凈室檢測(cè)價(jià)格無(wú)菌室的潔凈度直接決定了實(shí)驗(yàn)室的微生物結(jié)果的可信度。
1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線;下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過(guò)濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。
10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,應(yīng)符合下列要求:1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí),氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時(shí),也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi);4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過(guò)濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等,宜集中設(shè)置在氣體入口室。嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施,其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場(chǎng)所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房?jī)?nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則,其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè),并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω;選擇分散接地方式時(shí),各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體,兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定。斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室,準(zhǔn)垂直單向流,水平單向流潔凈室等。江蘇壓差潔凈室檢測(cè)評(píng)估
在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是。北京醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
12.4.1潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。12.4.3潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測(cè),宜采用壓差變送器通過(guò)控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí),電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制,并應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Wo(hù);當(dāng)采用電加濕器時(shí),應(yīng)設(shè)置無(wú)水、無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。北京醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
潔凈室檢測(cè)在生物安全實(shí)驗(yàn)室中的特殊應(yīng)用生物安全潔凈室(如P3、P4實(shí)驗(yàn)室)的檢測(cè)除常規(guī)項(xiàng)目外,還需關(guān)注生物安全防護(hù)措施的有效性,包括負(fù)壓梯度控制(**工作區(qū)與相鄰區(qū)域壓差≥-30Pa)、高效過(guò)濾器檢漏(需在生物安全柜運(yùn)行時(shí)同步檢測(cè))、消毒滅菌效果驗(yàn)證(如甲醛熏蒸后的殘留濃度檢測(cè),要求≤0.1ppm)。檢測(cè)人員進(jìn)入此類潔凈室前,需經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的生物安全培訓(xùn),穿戴正壓防護(hù)服并進(jìn)***密性檢測(cè)(泄漏率≤0.05%),檢測(cè)過(guò)程中若發(fā)生樣本泄漏,需立即啟動(dòng)應(yīng)急消毒程序(如自動(dòng)噴霧過(guò)氧化氫滅菌系統(tǒng))。生物安全柜的檢測(cè)是重點(diǎn)項(xiàng)目,需驗(yàn)證其氣流流向(垂直氣流≥0.3m/s,流入氣流≥0.5m/s)、高效過(guò)濾器完整...