4.1.2潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)口與城市交通干道之間的距離（相鄰側(cè)邊沿）宜大于50m。當(dāng)潔凈廠房與交通干道之間設(shè)有城市綠化帶時(shí)，可根據(jù)具體條件適當(dāng)減少，但不得小于25m。4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應(yīng)與容許振動值比較分析后確定。4.1.4廠區(qū)總平面布置時(shí)，應(yīng)按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、公用動力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。4.1.5潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。潔凈室則是一種控制空氣中的污染物質(zhì)。浙江半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入超凈間，并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再***，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。潔凈工作臺無塵室檢測公司在額定風(fēng)量下,極易穿透粒徑法的效率在99.9995%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機(jī)、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。

工程施工新項(xiàng)目安全工作便是工程施工新項(xiàng)目在工程施工全過程中機(jī)構(gòu)生產(chǎn)安全的所有理主題活動。根據(jù)對生產(chǎn)制造要素實(shí)際的情況操縱使生產(chǎn)制造要素不安全的個(gè)人行為和情況降低或***不引起為安全事故尤其是不引起讓人遭受損害的安全事故。使改造無塵室工程施工新項(xiàng)目經(jīng)濟(jì)效益總體目標(biāo)的完成獲得充分保證。務(wù)必留意的是引流罩和冷氣管須作隔熱保溫解決。一般是柜式分體式空調(diào)機(jī)的房間內(nèi)機(jī)的薄厚一般在0.25m~0.35m充分考慮引流罩的總寬,送風(fēng)夾道的總寬**少可制成0.5m~0.4m。入選用壁掛式空調(diào)時(shí)，該送風(fēng)夾道的總寬還可減少，其他送風(fēng)夾道的總寬**少可制成0.1米。那樣，無塵室的設(shè)計(jì)方案可比較大限度地運(yùn)用建筑空間。單向流和非單向流組合的氣流。

11.2.1有風(fēng)機(jī)的凈化設(shè)備當(dāng)其風(fēng)機(jī)底座與箱體軟連接時(shí)，搬運(yùn)時(shí)應(yīng)將底座架起固定，就位后放下。11.2.2凈化設(shè)備安裝應(yīng)在建筑內(nèi)部裝飾和凈化空調(diào)系統(tǒng)施工安裝完成，并進(jìn)行***清掃、擦拭干凈之后進(jìn)行，但與圍護(hù)結(jié)構(gòu)相連的設(shè)備或其排風(fēng)、排水管道必須與圍護(hù)結(jié)構(gòu)同時(shí)施工時(shí)，與圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)圓弧過渡，曲率半徑不應(yīng)小于30mm，連接縫應(yīng)采用密封措施，做到嚴(yán)密清潔。11.2.1有風(fēng)機(jī)的凈化設(shè)備當(dāng)其風(fēng)機(jī)底座與箱體軟連接時(shí)，搬運(yùn)時(shí)應(yīng)將底座架起固定，就位后放下。11.2.2凈化設(shè)備安裝應(yīng)在建筑內(nèi)部裝飾和凈化空調(diào)系統(tǒng)施工安裝完成，并進(jìn)行***清掃、擦拭干凈之后進(jìn)行，但與圍護(hù)結(jié)構(gòu)相連的設(shè)備或其排風(fēng)、排水管道必須與圍護(hù)結(jié)構(gòu)同時(shí)施工時(shí)，與圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)圓弧過渡，曲率半徑不應(yīng)小于30mm，連接縫應(yīng)采用密封措施，做到嚴(yán)密清潔。指潔凈室(區(qū))在生產(chǎn)操作全部結(jié)束,生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場并經(jīng)過20 min自凈后。安徽實(shí)驗(yàn)室環(huán)境無塵室檢測分析

塵室通常采用高效的HEPA（高效顆?？諝猓┻^濾器或ULPA（超高效顆粒空氣）過濾器，可有效過濾微小的灰塵。浙江半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)

E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測必須首先進(jìn)行，凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。E.1.2風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上，且必須實(shí)際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸。E.1.3測定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s，一般可用熱球式風(fēng)速儀，需要測出分速度時(shí)，應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計(jì)。E.1.4對于單向流潔凈室，可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量，垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面，該測定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直于地面的截面，截面上測點(diǎn)間距不應(yīng)大于1m，一般取0.3m。測點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于20個(gè)，均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室，內(nèi)安裝過濾器的風(fēng)口可采用套管法、風(fēng)量罩法或風(fēng)管法測定風(fēng)量，為測定回風(fēng)口或新風(fēng)口風(fēng)量，也可用風(fēng)口法。浙江半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測標(biāo)準(zhǔn)