1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產區(qū)的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產區(qū)吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環(huán)空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層；在單向流潔凈生產區(qū)的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術層根據需要可為一層或二層。單向流潔凈室靠送風氣流“活塞”般的擠壓作用，迅速把室內污染排出。北京潔凈度潔凈室檢測評估

6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房，技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產區(qū)和潔凈室（區(qū))的綜合性廠房，廠房的平面布局和構造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環(huán)境帶來不利影響。北京塵埃粒子潔凈室檢測價格在滿足生產工藝的條件下，管道系統(tǒng)應盡量短。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產環(huán)境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環(huán)境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。。。應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。

6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，構造和施工縫隙應采取密閉措施；2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道，3潔凈室(區(qū))不宜設窗臺；4當地面采用活動地板時，活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。6.3.7用于電子產品生產的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚，宜采用輕質壁板構造。負壓潔凈室聯(lián)鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。北京潔凈室檢測方法

嚴寒及寒冷地區(qū)的新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。北京潔凈度潔凈室檢測評估

5.1.1隨著科學技術的發(fā)展，電子產品的更新?lián)Q代、產品生產技術的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產品尤為***，集成電路產品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產；微型計算機的迅速發(fā)展，使各種元器件生產發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。北京潔凈度潔凈室檢測評估