4.1.2潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風口與城市交通干道之間的距離（相鄰側邊沿）宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設有城市綠化帶時，可根據(jù)具體條件適當減少，但不得小于25m。4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應與容許振動值比較分析后確定。4.1.4廠區(qū)總平面布置時，應按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、公用動力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。4.1.5潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。在未來，隨著科技的不斷推進，無塵室必將繼續(xù)在人類的探索和創(chuàng)新道路上發(fā)揮著不可或缺的作用。北京潔凈室環(huán)境無塵室檢測標準

16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規(guī)定：在風系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應符合現(xiàn)行的相關產(chǎn)品標準規(guī)定外，還應在系統(tǒng)和該裝置正常運轉條件下，檢測室內(nèi)臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《室內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規(guī)定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統(tǒng)正常運行、室內(nèi)處于動態(tài)條件下，于每一班次結束之前檢測室內(nèi)二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《空內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。北京微生物無塵室檢測頻率一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力。

10.1.1潔凈廠房內(nèi)應根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術經(jīng)濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除應符合本規(guī)范外，還應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設計規(guī)范》GB50030等的有關規(guī)定。10.1.4潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管，應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)。當與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設在水、電管線上部。

12.3.1防火卷簾安裝應符合下列規(guī)定：1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當采用不燃或難燃材料封堵時，其耐火極限應不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護，其封堵材料亦應采用水幕保護。2鋼質(zhì)卷簾的簾板應平直，裝配成卷簾后，不應存在孔洞或縫隙。3防火防煙卷簾的導軌內(nèi)設置的防煙裝置的材料應為不燃或難燃材料。防煙裝置與簾面應均勻緊密貼合，其貼合面長度不應小于導軌長度的80%。4用于疏散通道上的防火卷簾，其兩側應安裝由感煙、感溫火災探測器組成的火災探測器組合。12.3.2防火門和防火窗的安裝應符合下列規(guī)定：1安裝在防火門和防火窗上的合頁、插銷等五金配件應是經(jīng)相關檢測機構檢驗合格的產(chǎn)品。2防火門的開啟角度不應小于90°，并應具有在發(fā)生火災時能迅速關閉的功能。潔凈室則是一種控制空氣中的污染物質(zhì)。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應已連續(xù)運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測完室內(nèi)溫濕度后，還應同時測出室外溫濕度。空間內(nèi)其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。可以是開放式或封閉式。北京微生物無塵室檢測頻率

無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。北京潔凈室環(huán)境無塵室檢測標準

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。北京潔凈室環(huán)境無塵室檢測標準