3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。利用高速潔凈氣流吹落進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。手術(shù)室無(wú)塵室檢測(cè)

4潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動(dòng)報(bào)警按鈕和聲光報(bào)警裝置。12.3.5潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警及消防聯(lián)動(dòng)控制?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室（區(qū)）火災(zāi)報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，當(dāng)確認(rèn)火災(zāi)后，在消防控制室應(yīng)對(duì)下列各項(xiàng)進(jìn)行手動(dòng)控制：1關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火閥，停止相應(yīng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)和新風(fēng)機(jī)，并接收其反饋信號(hào)；2啟動(dòng)排煙風(fēng)機(jī)，并接收其反饋信號(hào)；3.在消防控制室或低壓配電室，手動(dòng)切斷有關(guān)部位的非消防電源。塵埃粒子無(wú)塵室檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布。

12.2.1排煙管道的安裝試驗(yàn)應(yīng)符合本規(guī)范第5章的有關(guān)規(guī)定。12.2.2排煙管道的隔熱層應(yīng)采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。12.2.3磚、混凝土風(fēng)道的制作應(yīng)保證管道的氣密性，灰縫應(yīng)飽滿，內(nèi)表面水泥砂漿面層應(yīng)平整。12.2.4送風(fēng)口、排煙口的固定應(yīng)可靠，表面應(yīng)平整、無(wú)變形、調(diào)節(jié)靈活。排煙口距可燃物或可燃構(gòu)件的距離不應(yīng)小于1.5m。排煙口安裝時(shí)不應(yīng)影響防倒灌設(shè)施正常發(fā)揮作用。排煙口應(yīng)安裝板式排煙口，不應(yīng)漏風(fēng)。12.2.5排煙風(fēng)機(jī)的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1當(dāng)**排煙風(fēng)機(jī)設(shè)在混凝土或鋼架基礎(chǔ)上時(shí)可不設(shè)減振裝置；若需設(shè)置減振裝置，則不應(yīng)使用橡膠減振裝置。2排煙風(fēng)機(jī)宜安裝在該系統(tǒng)比較高排煙口之上，并宜安在機(jī)房?jī)?nèi)，機(jī)房與相鄰部位隔墻應(yīng)符合防火要求。

13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時(shí),應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時(shí),應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺(tái)。13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時(shí),應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時(shí),應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺(tái)。由給定的粒子尺寸測(cè)定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑。

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開(kāi)放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。凡不符合單向流定義的氣流。手術(shù)室無(wú)塵室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

物料在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。手術(shù)室無(wú)塵室檢測(cè)

13.3.1可拆卸式電磁屏蔽室的壁板、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板，或0.3mm~0.5mm厚鋼板、鋁板或不銹鋼板。屏蔽模塊板相互連接處應(yīng)安裝連續(xù)的導(dǎo)電襯墊。施工直接安在圍護(hù)結(jié)構(gòu)地面上的底板時(shí)，底板與地面之間應(yīng)鋪2mm~3mm厚的電絕緣和能隔水汽的墊層。安裝過(guò)程中不得在底板上灑水。13.3.2焊接式電磁屏蔽室的壁板和頂板宜選用2mm厚鋼板，底板宜選用2.5mm~3mm厚鋼板。選用銅板、鋁板或不銹鋼板時(shí)，均宜選用0.3mm~0.5mm厚的薄板。焊接時(shí)嚴(yán)禁燒穿屏蔽壁板，不得使壁板變形。當(dāng)在屏蔽壁板表面粘貼鐵氧體等吸波材料時(shí)，必須把表面焊縫打磨平整。手術(shù)室無(wú)塵室檢測(cè)