9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。浙江潔凈度潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)

C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時(shí)間檢測會(huì)過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度，移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時(shí)，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動(dòng)力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。C.3.5掃描應(yīng)遍及過濾器的整個(gè)出風(fēng)面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點(diǎn)。C.3.6驗(yàn)收限值：當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時(shí)，就認(rèn)為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗(yàn)收限值。掃描時(shí)任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測量一段時(shí)間，光度計(jì)獲得比較大讀數(shù)時(shí)采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置。潔凈氣體3Q驗(yàn)證潔凈室檢測第三方檢測機(jī)構(gòu)潔凈室絕不僅于“潔凈”，而必須是一個(gè)對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當(dāng)要求的多功能的綜合體。

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時(shí)，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動(dòng)影響作出評(píng)價(jià)，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè)。周圍振源對精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響，是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此，應(yīng)立足于實(shí)測。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作，給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來很大困難，這說明實(shí)測振源振動(dòng)影響是非常必要的。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí)，必須有綜合措施。

（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內(nèi)空氣會(huì)很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。（3）潔凈廠房是個(gè)相對的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動(dòng)。北京醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測頻率

工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。浙江潔凈度潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)

6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。6.1.6設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房，技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動(dòng)力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井。技術(shù)豎井的形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室（區(qū))的綜合性廠房，廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來不利影響。浙江潔凈度潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)